石英撓性加速度計的高精度信號處理是基于力矩平衡原理、采用伺服回路實現(xiàn),伺服回路的性能是制約石英撓性加速度計性能提高的關鍵因素之一。 現(xiàn)有技術方案中,混合集成式模擬伺服回路因集成電路工藝問題,精度較低;分立元件式伺服回路集成度低,傳輸電容信號、極易受寄生電容影響,實用性較低。石英撓性加速度計主要有4個分類，分別是SRJ-1、SRJ-2、SRJ-3和SRJ-4等，產品具有量程較大，穩(wěn)定性能好，精度高，氣密性能好的特點，主要應用在慣性導航系統(tǒng)，平臺慣導系統(tǒng)，并在航空、航天、艦船、慣性測量和制導等行業(yè)。

隨著慣性系統(tǒng)低成本化的發(fā)展，在20世紀60年代中期開始出現(xiàn)新型的非液浮的所謂干式加速度計。由于這種儀表采用撓性支承技術，所以稱為石英撓性加速度計，且其結構與工藝大大簡化。目前這種石英撓性加速度計已廣泛應用于各類現(xiàn)代慣性系統(tǒng)中。單軸石英擾性加速度傳感器型號屬于單軸重力加速度計，其特點是結構簡單，體積小，精度和靈敏度高、可靠性高等。單軸石英擾性加速度傳感器型號的工作原理是慣性質量受到外界加速度時，相對位置發(fā)生輕微偏移，引起差動電容極板距離的變化導致差動電容量的變化。

石英撓性加速度計溫控儀是加速度計生產調試過程中的關鍵設備,作用是為加速度計溫度系數(shù)的測試提供環(huán)境條件。為模擬加速度計的實際工作條件55±3℃，生產過程中必須在55±0.5℃范圍內進行輸出信號的測試。石英撓性加速度計生產與應用發(fā)展迅速，因此其相應的溫度控制設備也非常重要。在溫度測控方面，分段PID加模糊PID控制方法得到了廣泛的應用。模糊控制是以模糊集合論、模糊語言變量及模糊邏輯推理為基礎的計算機智能控制，模糊控制的核心部分是模糊控制器，其控制規(guī)律由計算機的程序實現(xiàn)。一個模糊控制系統(tǒng)的性能優(yōu)劣主要取決于模糊控制器的結構、所采用的模糊規(guī)則、合成推理算法以及模糊決策的方法等因素。單軸石英擾性加速度傳感器型號系統(tǒng)中的閉環(huán)檢測電路。開發(fā)了基于單載波調制的電容檢測電路和伺服驅動電路，在功率放大電路前引入校正環(huán)節(jié)，提高加速度計系統(tǒng)的動靜態(tài)性能。實驗結果表明，電容檢測電路線性度好，分辨力可達到10-16 F量級，可檢測到的上限差值電容約為7 pF。

加速度計是慣性導航系統(tǒng)的核心元件之一,它敏感載體的加速度信息輸出與載體加速度成比例的信號。.加速度計信號采集電路將加速度計輸出的模擬信號轉換成數(shù)字信號,加速度計和加速度計測量電路的組合決定了慣性導航系統(tǒng)感知載體加速度的精度。石英撓性加速度計是敏感加速度的關鍵傳感器，I/F轉換電路則能夠將加速度計輸出的電流信號轉換為適合計算機處理的數(shù)字脈沖信號。石英撓性加速度計是測量線加速度的高精度傳感器，在慣性導航系統(tǒng)中具有重要的作用。單軸石英擾性加速度傳感器型號用于商業(yè)場合，例如捷聯(lián)慣導系統(tǒng)，可用于機載，海事，陸地和其他場合。本加速度計的優(yōu)良性能歸功于成熟的石英撓性技術，和集成偏置和比例因子溫度模型。另外，除了加速度，INN-202加速度計也可測量速度，距離和傾角。