復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。⑴潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴(kuò)充容易；而對(duì)于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料，并藉由除電裝置進(jìn)行除電。 B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

    無塵室的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機(jī)器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動(dòng)、擴(kuò)散受到氣流的支配。無塵室系利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而無塵室內(nèi)除了人以外，尚有機(jī)器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴(kuò)散，即無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。

　 若能徹底實(shí)施“不攜入”技術(shù)，無塵室內(nèi)的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實(shí)中人和物品的頻繁出入及制造機(jī)臺(tái)的掣動(dòng)，在廣大的無塵室內(nèi)要有完全潔凈度是不可能的?？刂茪饬骺煞乐刮⒘Ｗ永鄯e，但對(duì)于帶電表面的微粒累積就無法防止。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著，通常在無塵室內(nèi)會(huì)使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導(dǎo)電性材料。而對(duì)于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料，并藉由除電裝置進(jìn)行除電。亂流無塵室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣，將污染空氣逐漸稀釋，來實(shí)現(xiàn)潔凈的。

    在潔凈室中，人是決定微粒污染物產(chǎn)生的重要因素。潔凈室內(nèi)工作的人員都應(yīng)當(dāng)充分了解個(gè)人衛(wèi)生習(xí)慣對(duì)潔凈室潔凈程度的影響有多大，這才是很重要的。

   蘇州卓宇泰為您介紹潔凈室工作人員應(yīng)遵循的規(guī)程，有關(guān)服裝和個(gè)人用品方面的要求，供讀者參考。至于珠寶首飾，工作人員可以戴結(jié)婚和訂婚戒指，但不要戴有尖角或者邊沿鋒利的戒指，因?yàn)樗鼈兛赡軙?huì)刺穿手套或者衣服。如果一定要戴這種戒指，就需要在戴手套和穿潔凈服之前用帶子把它們纏起來。建議不要佩戴懸垂式耳環(huán)、項(xiàng)鏈、胸針和其他凸出來的或者懸掛的飾品，即便它們一般都是藏在衣服里面，不要佩戴這些飾物。因?yàn)檫@些東西可能會(huì)干擾潔凈室或者實(shí)驗(yàn)室的正常活動(dòng)。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時(shí)，不僅僅是向無塵室外排氣，負(fù)離子檢測(cè)儀而應(yīng)采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內(nèi)之對(duì)策。