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影響離子鍍膜層質(zhì)量的工藝參數(shù)
①基片偏壓.
離子鍍膜基片施加負(fù)偏壓后;各種離子和高能中性粒子流以較高的能量轟擊基片表面.基片負(fù)偏壓的提高,會使基片表面獲得更高的能量,可能形成偽擴散層,提高膜層與基體的附著力,還可以改變膜層的組織、結(jié)構(gòu)和性能,如細(xì)化晶粒,圖2表明,隨著基片負(fù)偏壓的提高,膜層組織變細(xì),但是,基片負(fù)偏壓的提高也會產(chǎn)生一些不利的影響,如反濺射作用的增加,使膜層表面受到刻蝕,使表面光潔程度降低,圖3表明了空心陰極離子鍍鉻時,基片負(fù)偏壓對鉻膜表面光澤度的影響,基片負(fù)偏壓的提高還會使沉積速率降低,使基片溫度升高,圖4表明了電弧離子鍍tin膜基片負(fù)偏壓對沉積速率的影響,因此,應(yīng)根據(jù)不同的離子鍍方法、不同的膜層及使用要求選擇適當(dāng)?shù)幕?fù)偏壓。
②鍍膜真空度和反應(yīng)氣體分壓.
離子鍍膜真空度對膜層組織、性能的影響與真空蒸鍍時的影響規(guī)律相似,但反應(yīng)氣體分壓對反應(yīng)離子鍍鍍制化合物膜的成分、結(jié)構(gòu)和性能有直接的影響,圖5是hcd離子鍍tin膜的硬度與氮氣分壓的關(guān)系,因此反應(yīng)氣體的分壓應(yīng)根據(jù)離子鍍方法,化合物膜層的成分、性質(zhì)、使用要求以及設(shè)備來選擇
③基片溫度.
離子鍍膜基片溫度的高低直接影響著膜層的組織、結(jié)構(gòu)和性能。一般情況下,溫度的升高有利于提高膜層與基片的附著力,有利于改善膜層的組織與性能。但是,溫度過高,則會使沉積速率降低,有時還會使膜層晶粒粗大,性能變壞;圖6中hcd離子鍍鉻膜顯微硬度受基片溫度影響的規(guī)律。另外,基片溫度的選擇還要受基片材料性質(zhì)的限制,如鋼材的回火溫度等
④蒸發(fā)源功率.
蒸發(fā)源功率對蒸發(fā)速率有直接的影響,進(jìn)而影響沉積速率,影響膜層的組織、性能,對反應(yīng)沉積化合膜時蒸發(fā)源功率也將影響膜層的成分。
為了獲得所需性能的膜層,應(yīng)綜合分析、考慮各種因素,迭擇鍍膜方法和確定合理的鍍膜工藝參數(shù)。
光學(xué)真空鍍膜機光學(xué)鍍膜特點分類
光學(xué)真空鍍膜機的光學(xué)鍍膜特點有哪些呢?很多人很好奇,畢竟是真空鍍膜行業(yè)的新技術(shù),已經(jīng)廣泛用于數(shù)碼科技,傳統(tǒng)銀鏡,科學(xué)儀器,光通信,半導(dǎo)體,新能源等行業(yè),獲眾多廠商認(rèn)可,并大量投入使用。那么光學(xué)真空鍍膜機光學(xué)鍍膜特點分哪幾種類型呢?下面為大家詳細(xì)介紹一下:
主要的光學(xué)真空鍍膜機光學(xué)薄膜器件包括反射膜、減反射膜、偏振膜、干涉濾光片和分光鏡等等,它們在國民經(jīng)濟和建設(shè)中得到廣泛的應(yīng)用,獲得了科學(xué)技術(shù)工作者的日益重視。例如采用減反射膜后可使復(fù)雜的光學(xué)鏡頭的光通量損失成十倍的減小;采用高反射膜比的反射鏡可使激光器的輸出功率成倍提高;利用光學(xué)薄膜可提高硅電池的效率和穩(wěn)定性。
簡單的光學(xué)薄膜模型是表面光滑、各向同性的均勻介質(zhì)膜層。在這種情況下,可以用光的干涉理論來研究光學(xué)薄膜的光學(xué)性質(zhì)。當(dāng)一束單色光平面波入射到光學(xué)薄膜上時,在它的兩個表面上發(fā)生多次反射和折射,反射光和折射光的方向有反射定律和折射定律給出,反射光合折射光的振幅大小則有菲涅爾公式確定。
PVD硬質(zhì)涂層真空鍍膜機應(yīng)用介紹及它的系統(tǒng)特點
PVD超硬質(zhì)涂層(工模具)真空鍍膜機是當(dāng)今世界上用于表面涂裝PVD膜層的先進(jìn)設(shè)備,運用PLC及觸摸屏實現(xiàn)自動化邏輯程序控制操作,設(shè)備結(jié)構(gòu)合理、外觀優(yōu)雅、性能穩(wěn)定、操作達(dá)到人機對話,簡便,鍍出的膜層牢固且細(xì)密,是工業(yè)化生產(chǎn)的理想設(shè)備,其特點是它的環(huán)保性,真空鍍膜設(shè)備屬于無三廢、無污染的清潔生產(chǎn)設(shè)備,無須環(huán)保部門審批。由于配有先進(jìn)的電器控制系統(tǒng)及穩(wěn)定的工藝界面,針對各種金屬進(jìn)行表面鍍膜.例如:鐘表行業(yè)(表帶、表殼、表盤等)、五金行業(yè)(衛(wèi)生潔具、門把手、拉手、門鎖等)、建筑行業(yè)(不銹鋼板、樓梯扶手、立柱等)、精密模具業(yè)(沖棒標(biāo)準(zhǔn)件模具、成型模具等)、工具行業(yè)(鉆頭、硬質(zhì)合金、銑刀、拉刀、刀頭)、汽車工業(yè)(活塞、活塞環(huán)、合金輪轂等)以及鋼筆、眼鏡等等,使其表面得到既美觀又耐磨的功能性磨層.主要鍍制的膜層有:離子金、離子銀、氮化鈦膜、碳化鈦膜、氮化鋯膜、鈦鋁合金膜、氮化鉻以及RP鍍等超硬功能性金屬膜,經(jīng)離子鍍膜加工后的工件,可以提高硬度、耐磨度,抗腐蝕和美化的作用??慑冎祁伾锈伣鹣盗?、鋯金系列、拉絲系列、黑色系列、彩色膜層系列共十多種色系。
采用PVD鍍膜技術(shù)鍍出的膜層有什么優(yōu)勢
采用PVD鍍膜技術(shù)鍍出的膜層,具有高硬度、高耐磨性(低摩擦系數(shù))、很好的耐腐蝕性和化學(xué)穩(wěn)定性等特點,膜層的壽命更長;同時膜層能夠大幅度提高工件的外觀裝飾性能。PVD膜層能直接鍍在不銹鋼、硬質(zhì)合金上、鈦合金、陶瓷等表面,對鋅合金、銅、鐵等壓鑄件應(yīng)先進(jìn)行化學(xué)電鍍鉻,然后才適合鍍PVD。PVD鍍膜技術(shù)是一種能夠真正獲得微米級鍍層且無污染的環(huán)保型表面處理方法,它能夠制備各種單一金屬膜(如鋁、鈦、鋯、鉻等)、氮化物膜(TiN[鈦金]、ZrN〔鋯金〕、CrN、TiAlN)和碳化物膜(TiC、TiCN),以及氧化物膜(如TiO等)。PVD鍍膜膜層的厚度為微米級,厚度較薄,一般為0.1μm~5μm,其中裝飾鍍膜膜層的厚度一般為0.1μm~2μm,因此可以在幾乎不影響工件原來尺寸的情況下提高工件表面的各種物理性能和化學(xué)性能,并能夠維持工件尺寸基本不變,鍍后不須再加工。
多弧離子真空鍍膜機鍍膜技術(shù)具有以下特點:可以任意安裝使薄膜均勻。外加磁場可以改善電弧放電;使電弧細(xì)碎;旋轉(zhuǎn)速度加快;細(xì)化膜層微粒;對帶電粒子產(chǎn)生加速作用。金屬離化率高,有利于薄膜的均勻性和提高附著力,是實現(xiàn)離子鍍膜的良好工藝。一弧多用,既是蒸發(fā)源,又是預(yù)轟擊凈化源和離化源。