噴射真空泵：它是利用文丘里（VENTURI）效應(yīng)的壓力降生產(chǎn)的高速射流把氣體輸送到出口的一種動量傳輸泵，適于在粘滯留和過渡流狀態(tài)下工作。這種泵又可詳細地分成以下幾種：① 液體噴射真空泵：以液體（通常為水）為工作介質(zhì)的噴射真空泵。② 氣體噴射真空泵：以非可凝性氣體作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。⑶真空泵在其工作壓強下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。③ 蒸汽噴射真空泵：以蒸汽作為工作介質(zhì)的餓噴射真空泵

（4） 擴散噴射泵：它是一種有擴散泵特性的單級或多級噴嘴與具有噴射真空泵特性的單級或多級噴嘴串聯(lián)組成的一種動量傳輸泵。油增壓泵即屬于這種形式。（5） 離子傳輸泵：它是將被電離的氣體在電磁場或電場的作用下，輸送到出口的一種動量傳輸泵。

（1）蒸發(fā)離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華（或蒸發(fā)）而覆在泵內(nèi)壁的吸氣材料上，以實現(xiàn)抽氣的一種真空泵。（2）濺射離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在由陰極連續(xù)濺射散出來的吸氣材料上，以實現(xiàn)抽氣目的的一種真空泵。吸氣劑離子泵：它是使被電離的氣體通過電磁場或電場的作用吸附在有吸氣材料的表面上，以達到抽氣的目的。低溫泵：利用低溫表面捕集氣體的真空泵

滑閥真空泵可單獨使用，也可作為羅茨真空泵、油增壓泵、油擴散泵的前級泵的使用。當(dāng)抽吸對黑色金屬有腐蝕、對真空油起化學(xué)反應(yīng)、含大量蒸汽、大量粉塵的氣體時，需附加裝置。優(yōu)點：相比旋片式真空泵耐用性要高好幾倍且抽氣速率大，價格相對高一點。用來抽除密閉容器的氣體的基本設(shè)備之一。它可以單獨使用，也可作為增壓泵、擴散泵、分子泵的前級泵使用。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。該型泵廣泛應(yīng)用于冶金、機械、電子、化工、石油、醫(yī)l藥等行業(yè)的真空冶煉、真空鍍膜、真空熱處理，真空干燥等工藝過程中。