工業(yè)氣體作為公用工程的一部分采取一體化集中供應(yīng),以實(shí)現(xiàn)專業(yè)、安全、環(huán)保。氣體島(氣化島)根據(jù)服務(wù)群體規(guī)模分為企業(yè)級(jí)和園區(qū)級(jí),根據(jù)供氣成分分為合成氣型(CO H2、H2、CO)和工業(yè)燃?xì)庑?,依?jù)服務(wù)行業(yè)又可分為化工型(煉油/煤化工/其它化工等)和其他工業(yè)型(陶瓷/建材/水泥等)。液態(tài)氣體價(jià)格速遞,至3月9日,上海液氧價(jià)格3月內(nèi)漲150元/T至750元/T,液ya至1500元/T,液氮680元/T。隨著煤氣化技術(shù)快速發(fā)展、工業(yè)園區(qū)(大型企業(yè))規(guī)模擴(kuò)大、產(chǎn)業(yè)更替和優(yōu)化升級(jí),采用專業(yè)化煤氣化島為工業(yè)園,特別是大型企業(yè),提供大量合格、低價(jià)的合成氣、氫氣等工業(yè)氣體已經(jīng)成為趨勢(shì)。


半導(dǎo)體
氣體很多是對(duì)人體有害。特別是其中有些氣體如SiH4的自燃性,只要一泄漏就會(huì)與空氣中的氧氣起劇烈反應(yīng),開(kāi)始燃燒;還有AsH3的毒性,任何些微的泄漏都可能造成人員生命的危害,也就是因?yàn)檫@些顯而易見(jiàn)的危險(xiǎn),所以對(duì)于系統(tǒng)設(shè)計(jì)安全性的要求就特別高。標(biāo)準(zhǔn)氣還可用于環(huán)境監(jiān)測(cè),有毒的有機(jī)物測(cè)量,汽車排放氣測(cè)試,超臨界流體工藝等。氣體的使用在半導(dǎo)體制程中一直扮演著重要的角色,特別是半導(dǎo)體制程目前已被廣泛的應(yīng)用于各項(xiàng)產(chǎn)業(yè),凡舉傳統(tǒng)的ULSI、TFT-LCD到現(xiàn)在的微機(jī)電(MEMS)產(chǎn)業(yè),皆以所謂的半導(dǎo)體制程為產(chǎn)品的制造流程,其中的制程包括如干蝕刻、氧化、離子布植、薄膜沉積等皆使用到相當(dāng)多的氣體,而氣體的純度則對(duì)組件性能、產(chǎn)品良率有著決定性的影響,氣體供應(yīng)的安全性則關(guān)乎人員的健康與工廠運(yùn)作的安全。

高純管道在高純氣體輸送中的意義
在不銹鋼熔煉制材過(guò)程中,每噸可吸收大約200g的氣體。不銹鋼材加工完畢,不僅其表面粘有各種污染物,而且在其金屬晶格內(nèi)也吸留有一定量的氣體。當(dāng)管路中有氣流通過(guò)時(shí),金屬所吸留的這部分氣體會(huì)重新進(jìn)入氣流中,污染純凈氣體。特種氣體是泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)制造的關(guān)鍵電子材料,直接關(guān)系到我國(guó)民經(jīng)濟(jì)發(fā)展和國(guó)家戰(zhàn)略安全。當(dāng)管內(nèi)氣流為不連續(xù)流動(dòng)時(shí),管材對(duì)所通過(guò)的氣體形成壓力下吸附,氣流停止通過(guò)時(shí),管材所吸附的氣體又形成解析,而解析的氣體同樣作為雜質(zhì)進(jìn)入管內(nèi)純凈氣體中。同時(shí),吸附、解析周而復(fù)始,使得管材內(nèi)表面金屬也會(huì)產(chǎn)生一定的粉末,這種金屬粉塵粒子同樣污染管內(nèi)純凈的氣體。管材的這一特性至關(guān)重要,為了確保輸送的氣體的純凈度,不僅要求管材內(nèi)表面有一個(gè)極高的光滑度,而且,應(yīng)當(dāng)具有很高的耐磨特性。


液化氣體的特點(diǎn)
液化氣體( Liquefied Gases ):在2111 ℃和罐裝壓力下部分液化的氣體?;蚨x為在正常溫度和172142~17237kPa 壓力下在氣瓶中液化的氣體。而另外一種通過(guò)測(cè)定氣體中所含有的所有雜質(zhì)成分,計(jì)算求得氣體純度(理論純度)的方法,同樣難以實(shí)現(xiàn)。壓縮氣體(Compressed Gases) 壓縮氣體是指在2111 ℃下, 在氣瓶中壓力超過(guò)27518kPa 的任何氣體或混合物; 或與2111 ℃下的壓力無(wú)關(guān), 于5414 ℃下壓力超過(guò)717kPa 的任何氣體或混合物; 或于3718 ℃下氣體壓力超27518kPa 的任何液體。