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車間凈化工程應(yīng)用于行業(yè)
車間凈化工程應(yīng)用于生產(chǎn)車間 由于技術(shù)的發(fā)展,對(duì)產(chǎn)品的高精度和小型化的需求更加迫切,例如需要清潔生產(chǎn)車間的超大型集成電路的研究和制造。例如,半導(dǎo)體的生產(chǎn)需要潔凈室,以確保工作環(huán)境中的顆粒和溫度,濕度標(biāo)準(zhǔn),任何顆粒和溫度和濕度都達(dá)不到標(biāo)準(zhǔn)可能會(huì)影響制造裝置的性能和可靠性。 車間凈化工程應(yīng)用于行業(yè) 隨著手術(shù)室凈化項(xiàng)目,術(shù)后率從8.9降至0.26,手術(shù)室凈化已成為醫(yī)院水平的重要指標(biāo),特別是在一些大型醫(yī)院,需要凈化手術(shù)室,為移植等困難復(fù)雜的手術(shù)提供合適的空間。
潔凈級(jí)別6級(jí)和7級(jí)是比較常見(jiàn)的,我們選用了這兩個(gè)級(jí)別
通過(guò)對(duì)歷年工程實(shí)例的統(tǒng)計(jì),在電了廠房的設(shè)計(jì)中,潔凈級(jí)別6級(jí)和7級(jí)是比較常見(jiàn)的,因此我們選用了這兩個(gè)級(jí)別作為本次實(shí)驗(yàn)的模擬環(huán)境,并區(qū)分采用過(guò)濾器和采用FFU方案,在選用外資、合資與國(guó)內(nèi)品牌產(chǎn)品的情況,進(jìn)行模擬。為了區(qū)別紛繁復(fù)雜的實(shí)際情況,我們對(duì)模擬對(duì)象進(jìn)行了適當(dāng)簡(jiǎn)化,實(shí)驗(yàn)的基本情況如下: (1)本次模擬對(duì)象為約3300平方米的普通電子潔凈室。潔凈室具體情況見(jiàn)圖1和圖2。 (2) 終端設(shè)備采用兩種方案進(jìn)行設(shè)計(jì):方案1采用過(guò)濾器;方案2采用 FFUO (3) 計(jì)算范圍:本次計(jì)算的工程量?jī)H含潔凈室冷凍供應(yīng)系統(tǒng)及空調(diào)凈化系統(tǒng)的設(shè)備及安裝材料(風(fēng)管、閥門、風(fēng)口)等,不包括潔凈室配套的土建裝飾、照明、控制等費(fèi)用。
潔凈技術(shù)又稱為生產(chǎn)環(huán)境和污染控制技術(shù)
潔凈技術(shù)又稱為生產(chǎn)環(huán)境和污染控制技術(shù),是近些年隨著高新技術(shù)發(fā)展起來(lái)的一門綜合性的新興科學(xué)技術(shù)。潔凈技術(shù)通常包括:空氣凈化技術(shù)、空調(diào)技術(shù)、水純化技術(shù)、氣體純化技術(shù)、微量雜志控制技術(shù)、潔凈環(huán)境的檢測(cè)技術(shù)及相關(guān)的環(huán)境的控制技術(shù)。凈化工程技術(shù)在電子、核子、航空航天、生物工程、制藥、精密機(jī)械、化工、食品、汽車制造等高科技工業(yè)領(lǐng)域及現(xiàn)代科學(xué)領(lǐng)域中得到廣泛應(yīng)用。
潔凈技術(shù)方向發(fā)展空氣分子污染
潔凈技術(shù)方向發(fā)展 空氣分子污染(Airborne Molecular Contaminants,AMC)作為IC工廠所關(guān)心的問(wèn)題于20年前由日本人提出,近年來(lái),世界IC技術(shù)發(fā)展迅速,IC芯片日益微型化。AMC對(duì)當(dāng)前的IC生產(chǎn)其潛在的污染比粒子污染要廣泛多,粒子污染控制只需要確定粒徑及個(gè)數(shù),但對(duì)AMC控制而言,除了受芯片線寬的縮小而變化外,并受工藝、工藝設(shè)備、工藝材料及傳送系統(tǒng)等的影響。更有甚者用于某一工序的各種工藝材料(化學(xué)品、特種氣體等)在很多情況下其微量的分子殘余對(duì)下一工序往往可能就是污染物。因此,IC生產(chǎn)過(guò)程中的某些加工工序及工序間的材料傳送和存放環(huán)境中,AMC已成為嚴(yán)重影響成品率的重要問(wèn)題,AMC分子控制技術(shù)成為潔凈工程設(shè)計(jì)與施工建設(shè)的主流趨勢(shì)。目前,國(guó)內(nèi)的潔凈工程企業(yè)中已經(jīng)開始從事此方向的研究,在該領(lǐng)域比較的企業(yè)有亞翔集成,在分子凈化技術(shù)方面該公司已經(jīng)走在了同行業(yè)的前列,而中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院則在防微震方面。