無塵車間的風速影響

         小粒徑粉塵的擴散作用(布朗運動)明顯，風速低了，氣流在過濾材料中滯留的時間就長一些，粉塵就有更多的機會撞擊障礙物，因此過濾效率就高。經(jīng)驗表明，對于過濾器，風速減少一半，粉塵的透過率會降低近一個數(shù)量級(效率數(shù)值增加一個9)，風速增加一倍，透過率會增加一個數(shù)量級(效率降低一個9)。1．工程設(shè)計不合理這種現(xiàn)象比較少見，主要是在一些小型的凈化級別要求不太高的潔凈室建造上。

         與擴散的效果類似，當過濾材料帶靜電時(駐極體材料)，粉塵在濾材中滯留的時間越長，被材料吸附的可能性就越大。改變風速，帶靜電材料的過濾效率會明顯改變。如果你知道材料上有靜電，進行空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計時就應該盡可能地減少通過每只過濾器的風量。

         對于以慣性機理為主的大顆粒粉塵，根據(jù)傳統(tǒng)理論，風速降低后，粉塵與纖維碰撞的幾率會減少，過濾效率會隨之降低。但在實踐中這種影響并不明顯，因為風速小了，纖維對粉塵的反彈力也小了，粉塵更容易被粘住。

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無塵車間的節(jié)能原則

無塵車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風和空調(diào)（HVAC）、工藝冷卻、壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因為在設(shè)計和建造工廠時走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運行費用。高的效率的設(shè)計和高的效率設(shè)備需要很大的前期投入。那種“小處節(jié)約大處浪費”的所謂捷徑和削減成本，會造成工廠的運行性能降低和能耗增加。當設(shè)備維修時易產(chǎn)生微塵粒子，故維修時盡量于清潔室外進行，并加隔離柵隔離。 對已建成工廠的改建通常會陷入到毫無意義的經(jīng)濟漩渦當中 。