使用烘箱時應(yīng)該注意什么？

帶有電接點水l銀溫度計式溫控器的烘箱應(yīng)將電接點溫度計的兩根導(dǎo)線分別接至箱頂?shù)膬蓚€接線柱上。另將一支普通水l銀溫度計插入排氣閥中，（排氣閥中的溫度計是用來校對電接點水l銀溫度計和觀察箱內(nèi)實際溫度用的）打開排氣閥的孔。調(diào)節(jié)電接點水l銀溫度計至所需溫度后緊固鋼帽上的螺絲，以達到恒溫的目的。但必須注意調(diào)節(jié)時切勿將指示鐵旋至刻度尺外。

熱風(fēng)循環(huán)烘箱工作原理

當(dāng)保溫滅菌時間達到設(shè)定值時，時間繼電器輸出信號給PLC，PLC輸出全閉電加熱，開啟水冷卻電磁閥，使其吸合導(dǎo)通，從而箱體處于冷卻降溫階段。當(dāng)箱內(nèi)溫度下降≤40℃時，溫控儀輸出控制信號給PLC，PLC輸出關(guān)閉熱風(fēng)循環(huán)風(fēng)機，干燥滅菌周期程序結(jié)束。 TEED一2001 K超溫報警溫控儀輸出信號控制PLC整個程序的運行，鉑電阻PT 100測試信號至報警溫控儀與超溫報警設(shè)置溫度值進行比較，當(dāng)實際溫度值低于設(shè)定值時，輸出控制信號給PLC，PLC程序正常運行。當(dāng)實際溫度值超過設(shè)定值時，輸出控制信號給PLC，PLC關(guān)閉運行程序。故超溫報警的設(shè)置值一般要高于工作溫度的設(shè)定值。

熱風(fēng)循環(huán)烘箱的常見故障

核對一下GCD一23A型智能電腦溫控儀的PID調(diào)節(jié)參數(shù)，看是否人為誤操作，致使設(shè)置參數(shù)變更，從而使得系統(tǒng)出現(xiàn)動作異常。PID參數(shù)直接影響著系統(tǒng)的調(diào)節(jié)精度，是控制系統(tǒng)設(shè)計的核心內(nèi)容。通過適當(dāng)?shù)腜ID參數(shù)，PID控制可以根據(jù)系統(tǒng)被控過程的誤差特性，利用比例、積分、微分計算出系統(tǒng)控制量，得到相應(yīng)的輸出響應(yīng)特性，控制系統(tǒng)使其達到滿意的控制效果?；謴?fù)PID參數(shù)正常設(shè)置值。其次檢測循環(huán)風(fēng)機運轉(zhuǎn)是否正常，轉(zhuǎn)向是否正確。如果風(fēng)機反轉(zhuǎn)或風(fēng)機負載太大而轉(zhuǎn)速過慢，都將影響熱風(fēng)循環(huán)不暢通。當(dāng)風(fēng)機反轉(zhuǎn)時，可將風(fēng)機的電源任意兩相倒換;當(dāng)風(fēng)機轉(zhuǎn)速過慢時，應(yīng)從兩個方面進行檢查:(1)電氣方面電源電壓是否正常，有無缺相或繞組斷路現(xiàn)象。

熱風(fēng)循環(huán)烘箱在光刻中的應(yīng)用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻膠{ */}。粘合劑或硅片放置在惰性氣體中進行熱處理。該工藝旨在提高光刻膠與硅片之間的附著力，防止顯影時間的延長，防止?jié)窀g過程。使用粘合劑的防腐劑。首先，采用真空法從膠粘機上的硅天花板上抽油，將吳定量的粘性光刻膠涂在幽l靈表面，然后時間設(shè)定涂層的速度和旋轉(zhuǎn)速度。在離心力作用下，光刻膠表面均勻分散，去除多余的光刻膠，獲得吳定厚度的光刻膠膜。膠厚控制膠的粘度和橡膠的速度，預(yù)干燥由于溶劑緩蝕劑作用，在80℃的硅片上，防腐劑是干的。微波爐是吳種惰性氣體，干燥時間通常在15-30分鐘之間的光刻膠清除器。

2、掩碼對齊

由于集成電路的制造過程是吳層的過程，所以每個層的位置不能移動。熱風(fēng)循環(huán)烘箱吳般有加熱管，有循環(huán)風(fēng)機的烘箱都可稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，因為不管烘箱什么結(jié)構(gòu)，風(fēng)向水平還是垂直，歸根到底都是熱風(fēng)在里面循環(huán)，所以都可通稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，如電熱鼓風(fēng)烘箱，對開門高溫滅菌烘箱等。掩模和晶片可以對齊在晶片上。