氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)

氦質(zhì)譜檢漏儀的型號較多，但基本結(jié)構(gòu)大同小異。它主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣部分組成。

（1）質(zhì)譜室

不同類型的氦質(zhì)譜檢漏儀的質(zhì)譜室結(jié)構(gòu)大同小異，都是由離子源、分析器和收集器三部分組成，它們放在一個抽成高真空的質(zhì)譜室外殼中

1）離子源

離子源的作用是使氣體分子電離，形成一束具有一定能量的離子。它由燈絲（陰極）、離化室及離子加速極組成。

燈絲在真空中通電加熱后發(fā)射電子，在離化室與燈絲之間的電場的作用下，電子加速穿過離化室頂部狹縫進入離化室，在離化室中與氣體分子發(fā)生多次碰撞后損失能量，打到分子電離形成正離子，正離子在離化室與加速極之間的電原U（即離子加速電壓）作用下，相繼穿過離化室正面的矩形狹縫和加速極的矩形狹縫，由于加速電場對離子做的功轉(zhuǎn)變?yōu)殡x子的動能，便形成具有一定能量的離子束。由于離子是由中性氣體分子失去Z個帶負電荷e的電子而形成的，所以離子電荷為正的Ze。由于各種氣體的離子均受同一電場的加速，當(dāng)它們的電荷量相等時，它們的能量相等，但由于質(zhì)荷比不同，故運動速度也就不同。

正壓法氦質(zhì)譜檢漏

采用正壓法檢漏時，需對被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室充入高于一個大氣壓力的氦氣，當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時，氦氣就會通孔漏孔進入被檢外表面的周圍大氣環(huán)境中，再采用吸的方式檢測被檢產(chǎn)品周圍大氣環(huán)境中的氦氣濃度增量，從而實現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏測量。按照收集氦氣方式的不同，又可以將正壓法分為正壓吸法和正壓累積法。其中正壓吸法采用檢漏儀吸對被檢產(chǎn)品外表面進行掃描探查，可以實現(xiàn)漏孔的；正壓累積法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來，采用檢漏儀吸測量一定時間段前后的氦罩內(nèi)氦氣濃度變化量，實現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測量。正壓法的優(yōu)點是不需要輔助的真空系統(tǒng)，可以，實現(xiàn)任何工作壓力下的檢測。正壓法的缺點是檢測靈敏度較低，檢測結(jié)果不確定度大，受測量環(huán)境條件影響大。正壓法主要應(yīng)用于大容積高壓密閉容器產(chǎn)品的檢漏，如高壓氦氣瓶、艙門檢漏儀等。

氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理

近年來由于電子工業(yè)的發(fā)展，空間探索活動的增加，檢漏技術(shù)得到了快速發(fā)展，它的重要標(biāo)志是將以氦為示蹤氣體的氦質(zhì)譜檢漏儀已快速地進入了各個適用的領(lǐng)域。氦質(zhì)譜檢漏儀同其它檢方法相比，除檢漏方法不同之外，以它的檢測靈敏度高、速度快，可進行定性、定量、的檢測特別是選擇無破壞性、無毒，無危險的隋性氣體氦為示蹤氣體，使它成為今天檢漏儀器當(dāng)中的。

在許多科學(xué)領(lǐng)域和制造業(yè)中，氦質(zhì)譜檢漏儀已成為控制和監(jiān)督產(chǎn)品質(zhì)量的裝備。尤其近幾年來，電工電子產(chǎn)品的監(jiān)督檢驗部門和生產(chǎn)廠家，制冷、汽車、航空、航天等行業(yè)強化“以質(zhì)量求生存”的意識，他們在將氦質(zhì)譜檢漏儀用于生產(chǎn)線和科研應(yīng)用的同時，不斷探索其在本行業(yè)的應(yīng)用開發(fā)并積累了很多經(jīng)驗。