目前比較常見的鍺鈦酸鉛壓電陶瓷片(PZT),是用鋯、鈦、鉛的氧化物配制后燒結(jié)而成的。鑒于人耳對頻率約為3kHz的音響敏感,所以通常將壓電陶瓷片的諧振頻率f0設(shè)計(jì)在3kHz左右。鑒于人耳對頻率約為3kHz的音響最敏感,所以通常將壓電陶瓷片的諧振頻率f0設(shè)計(jì)在3kHz左右??紤]到在低頻下工作,僅用一片壓電陶瓷片難以滿足頻率要求,—般采用雙膜片結(jié)構(gòu)目前比較常見的鍺鈦酸鉛壓電陶瓷片(PZT),是用鋯、鈦、鉛的氧化物配制后燒結(jié)而成的。鑒于人耳對頻率約為3kHz的音響敏感,所以通常將壓電陶瓷片的諧振頻率f0設(shè)計(jì)在3kHz左右??紤]到在低頻下工作,僅用一片壓電陶瓷片難以滿足頻率要求,—般采用雙膜片結(jié)構(gòu),

壓電陶瓷執(zhí)行器因其體積小、位移分辨率高、響應(yīng)速度快、輸出力大、換能效益高等優(yōu)點(diǎn),廣泛應(yīng)用于掃描探針顯微鏡、自適應(yīng)
/主動(dòng)光學(xué)元件、納米定位、振動(dòng)控制、聲學(xué)、聲納、微流體輸送等領(lǐng)域中[1]。對于壓電陶瓷穩(wěn)定工作很多困難亟待解決,其中迫切的就是驅(qū)動(dòng)電源,壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源技術(shù)己成為目前壓電陶瓷執(zhí)行器應(yīng)用中的關(guān)鍵技術(shù)之一[2]。

超聲波傳感器是利用超聲波的特性研制而成的傳感器。超聲波是一種振動(dòng)頻 率高于聲波的機(jī)械波,由換能晶片在電壓的激勵(lì)下發(fā)生振動(dòng)產(chǎn)生的,它具有頻率高、波長短、繞射現(xiàn)象小,特別是方向性好、能夠成為射線而定向傳播等特點(diǎn)。超聲波對液體、固體的穿透本領(lǐng)很大,尤其是在陽光不透明的固體中,它可穿透幾十米的深度。超聲波對液體、固體的穿透本領(lǐng)很大,尤其是在陽光不透明的固體中,它可穿透幾十米的深度。超聲波碰到雜質(zhì)或分界面會(huì)產(chǎn)生顯著反射形成反射成回波,碰到活動(dòng)物體能產(chǎn)生多普勒效應(yīng)。因此超聲波檢測廣泛應(yīng)用在工業(yè)、、生物醫(yī)學(xué)等方面以超聲波作為檢測手段,必須產(chǎn)生超聲波和接收超聲波。完成這種功能的裝置就是超聲波傳感器,習(xí)慣上稱為超聲換能器,或者超聲探頭。