種形式在小規(guī)模低等級(jí)要求的潔凈室車間設(shè)計(jì)中被廣泛應(yīng)用，對(duì)于大面積高等級(jí)的潔凈車間則存在運(yùn)行成本過(guò)高、占用空間過(guò)大等缺點(diǎn)。

第二種形式的設(shè)計(jì)可以滿足集成電路制造無(wú)塵車間大面積高等級(jí)的要求，但運(yùn)行成本較高，并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難，系統(tǒng)升級(jí)改造困難，因此操作靈活性很低。

第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運(yùn)行空間、潔凈度安全性高、運(yùn)行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時(shí)進(jìn)行系統(tǒng)升級(jí)和調(diào)整，這些都能很好地滿足半導(dǎo)體制造的需求，因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為很主要的凈化設(shè)計(jì)方案。

好的潔凈車間設(shè)計(jì)不僅能節(jié)省能源、降低運(yùn)行成本、降低人力投入，而且可以給生產(chǎn)提供安全可靠的保證。在3種潔凈系統(tǒng)中，F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)運(yùn)行成本很低，潔凈度安全性很高，因此集成電路潔凈廠房多采用FFU循環(huán)系統(tǒng)?？諝膺^(guò)濾器的入口質(zhì)量濃度一般低于5mg/m3，而其出口質(zhì)量濃度有的可以低到1m3空氣幾個(gè)微粒計(jì)數(shù)。而潔凈度要求越高，溫濕度控制精度越高則潔凈室投資和運(yùn)行成本越高，因此在大環(huán)境潔凈度或溫濕度要求相對(duì)較低的情況下，將一些關(guān)鍵的工藝設(shè)備布置在較高潔凈度或溫濕度控制區(qū)域內(nèi)是集成電路制造潔凈廠房的設(shè)計(jì)趨勢(shì)。

活動(dòng)縫隙（二類）的處理：

　　凈化車間門宙的開(kāi)啟扇與框料如何搭接是凈化車間門宙密封設(shè)計(jì)中的關(guān)鍵。搭接處的縫隙有別于固定縫隙，因活動(dòng)扇需要開(kāi)啟而木能采取“一勞永逸”的封固措施。由于潔凈車間工程技術(shù)難度高，工程造價(jià)大，因此，在實(shí)施潔凈工程時(shí)，一直注重潔凈車間的設(shè)計(jì)。相對(duì)于宙而言，凈化車間門的開(kāi)啟扇更大，活動(dòng)縫隙在一捏凈化車間門的總構(gòu)造縫隙數(shù)量中占有更大的比例，凈化車間門扇的開(kāi)啟次數(shù)遠(yuǎn)較宙為頻繁，而凈化車間門扇周邊縫隙的工作條件也比較復(fù)雜，以單扇平開(kāi)凈化車間門為例，沿豎向的兩側(cè)邊小，裝執(zhí)手的一邊經(jīng)常受到通行時(shí)各種摩擦或碰撞，裝鉸鏈的一邊則因扇的旋轉(zhuǎn)而對(duì)膛的施力方向與其他三邊完全不同。

1、煙氣熱量積聚，蔓延途徑多。

潔凈室一般呈密閉狀態(tài)，門窗少，發(fā)生火災(zāi)時(shí)，煙氣熱量不易向外散出，造成煙氣滯留，熱量劇增，加之廠房?jī)?nèi)通風(fēng)管道、電氣線路套管、技術(shù)夾層等彼此聯(lián)通，很容易造成煙熱氣流向其它房間快速蔓延。

2、人員逃生困難。

潔凈室由于工藝上的要求，內(nèi)部分隔復(fù)雜，通道曲折窄小，安全出口少，縱深距離長(zhǎng)，火災(zāi)發(fā)生后易迷失方向，加之工作人員少，初期火災(zāi)難于及時(shí)發(fā)現(xiàn)，待煙火侵襲時(shí)已難脫身。