種形式在小規(guī)模低等級要求的潔凈室車間設計中被廣泛應用，對于大面積高等級的潔凈車間則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。

第二種形式的設計可以滿足集成電路制造無塵車間大面積高等級的要求，但運行成本較高，并且潔凈室風速、風量調節(jié)困難，系統(tǒng)升級改造困難，因此操作靈活性很低。

第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時進行系統(tǒng)升級和調整，這些都能很好地滿足半導體制造的需求，因此在半導體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為很主要的凈化設計方案。

不產(chǎn)生：不在潔凈車間產(chǎn)生任何灰塵。

　　遵循這個原則，潔凈車間設計時，應注意如下幾個方面：

　　1、 不采用易產(chǎn)塵、易吸附塵土的地面、四壁、天花板的裝飾材料。

　　2、不使用容易產(chǎn)生灰塵的材料與設備。

　　3、 在許多的潔凈車間內，人都是很大的污染源。嚴格潔凈車間的管理，控制人員數(shù)量，避免不必要的移動，人員應穿潔凈服。

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　　凈化車間門窗上的縫隙分為固定縫隙和活動縫隙。性質不同在凈化車間門、窗上所占比例也不同。凈化車間門、窗密閉采取的氣密措施也不完全相同。凈化車間門窗縫隙的處理一般來說，凈化車間門窗大都共同具有三類構造縫隙。開啟扇與框料相互搭接的槽口尺寸與槽口形式問題，是活動縫隙密封設計小必須注意的重要問題。一類是樘的組合拼接和樘與凈化車間門洞間的安裝縫隙;二類是樘與開啟扇之間的搭接縫隙;三類是玻璃或其他芯板的安裝縫隙。通常所提的凈化車間門的空氣泄漏無非是由上述三種縫隙產(chǎn)生的問題。

平開凈化車間門扇的縫隙密封：

　　平開式密閉凈化車間門是潔凈廠房中選用很多的凈化車間門類型，平時供通行或者運輸.火災時供緊急疏散，都很方便。

　　一般選用成型斷面的彈性材料作為密閉條固定密封在縫處。常用凈化車間門的洞口寬度，雙扇內凈化車間門多在1800mm以下，雙扇外凈化車間門多在2100mm以下;洞口高度大抵在2400mm以內。