淄博齊韻泵業(yè)科技有限公司技術(shù)力量雄厚、制造設(shè)備精良，并有完善的質(zhì)量管理體系，可為用戶設(shè)計(jì)、制造不同類(lèi)型的真空泵、水泵及設(shè)備機(jī)組。

水環(huán)式真空泵的管路連接也是比較重要的一項(xiàng)工作，在采用管路材質(zhì)及各類(lèi)閥門(mén)時(shí)，一定要按照使用說(shuō)明進(jìn)行，將各管路的連接點(diǎn)做好有效地密封，使其能夠達(dá)到相應(yīng)的范圍內(nèi)，如果出現(xiàn)泄漏等問(wèn)題，應(yīng)該及時(shí)將管路進(jìn)行檢查，看是否是密封造成的問(wèn)題，及時(shí)的將其進(jìn)行修復(fù)，穩(wěn)定水環(huán)泵的運(yùn)行情況。

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有效稀釋有害氣體的濃度：

　　半導(dǎo)體易產(chǎn)生前面所說(shuō)的、有毒的有害氣體。所以半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中在抽取這些介質(zhì)時(shí)就必須防止它們?cè)谡婵毡脙?nèi)或者排氣過(guò)程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質(zhì)，在與空氣或氧接觸的時(shí)候，會(huì)引起燃燒甚至；氫氣在空氣中的混合比例達(dá)到一定程度與溫度時(shí)也會(huì)發(fā)生燃燒。這些都取決于該物質(zhì)的量以及與環(huán)境的壓力、溫度的關(guān)系。因此半導(dǎo)體真空泵在抽取這些介質(zhì)時(shí)，需要用氮?dú)庵?lèi)的惰性氣體，在壓縮前即將這些氣體稀釋到當(dāng)時(shí)條件下的安全范圍。　　

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定期清洗真空泵及其他附件、過(guò)濾、管道，避免超壓：

　　半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用時(shí)，抽取介質(zhì)過(guò)程中經(jīng)過(guò)反應(yīng)室與真空泵，其成分可能極為復(fù)雜，如SiH4與O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解會(huì)形成HCl；假設(shè)是油封式機(jī)械泵，這些氣體物質(zhì)還可能與泵油發(fā)生化反。這些變化假設(shè)形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質(zhì)，就可能堵塞真空泵或管路系統(tǒng)，影響真空泵性能，造成壓力上升或超壓，一點(diǎn)中提到的危險(xiǎn)性也更大。所以需要及時(shí)的清洗，并在必要的時(shí)候設(shè)置過(guò)濾設(shè)備。

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防止溫度過(guò)高：

　　比較容易理解這點(diǎn)，半導(dǎo)體在真空泵的應(yīng)用中，有害氣體比較多，而無(wú)論是干式真空泵還是油封機(jī)械泵，泵腔內(nèi)溫度過(guò)高，高溫下及有毒氣體就會(huì)容易發(fā)生危險(xiǎn)。

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