設(shè)計(jì)千級(jí)凈化車(chē)間里的生產(chǎn)設(shè)備需要注意什么

首先，無(wú)塵凈化車(chē)間在設(shè)計(jì)上應(yīng)該充分體現(xiàn)出環(huán)保性理念，這點(diǎn)是車(chē)間設(shè)計(jì)中必須要注意的事項(xiàng)。并且為保證車(chē)間的安、全使用，設(shè)計(jì)者還應(yīng)該從布局以及設(shè)施的安、全范圍去考慮。應(yīng)盡量符合消防、防火的要求，按有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范進(jìn)行設(shè)計(jì)。由于無(wú)塵凈化車(chē)間的平面和空間布置特殊，在進(jìn)行各項(xiàng)技術(shù)設(shè)施的系統(tǒng)設(shè)計(jì)、設(shè)備配置時(shí)應(yīng)特別注意按規(guī)定選用符合要求的系統(tǒng)和設(shè)備。

半導(dǎo)體、集成電路生產(chǎn)的無(wú)塵車(chē)間要求

半導(dǎo)體材料提純作為發(fā)展半導(dǎo)體器件的重要基礎(chǔ)。由于大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的工藝要求，為得到高純度的硅材料，原料和中間媒介的高純度和生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度成為影響產(chǎn)品質(zhì)量的一個(gè)突出問(wèn)題。集成電路芯片的成品率與芯片的缺陷密度有關(guān)，而芯片的缺陷密度與空氣中粒子個(gè)數(shù)有關(guān)。因此，集成電路的高速發(fā)展，不僅對(duì)空氣中控制粒子的尺寸有極高的要求，而且也需進(jìn)一步控制粒子數(shù)；同時(shí)，對(duì)于超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)環(huán)境的化學(xué)污染控制也有相關(guān)的要求。

獲取后到凈化車(chē)間圖紙之后，請(qǐng)注意以下的細(xì)節(jié)

1、主機(jī)位置主機(jī)是否品牌要求，補(bǔ)水泵水塔位置。

2、地面條件：是否具有防靜電凈化車(chē)間，記得要包括引號(hào)地樁，低價(jià)中標(biāo)，如果你將很難看到，地面是否水平。

3、室內(nèi)照明設(shè)計(jì)：100LUX約5.4瓦特/ m2200LUX約10.4瓦特/ m2300LUX約15.6W /平方米。

凈化車(chē)間的管線(xiàn)十分復(fù)雜，所以對(duì)這些管線(xiàn)均選用蔭蔽組織方法。詳細(xì)蔭蔽組織方法有以下幾種。

技能夾層

(1)頂部技能夾層。在這種夾層內(nèi)通常因送、回風(fēng)管的斷面大，故作為夾層內(nèi)首先思考的目標(biāo)。通常將其組織在夾層的上方，其下組織電氣管線(xiàn)。當(dāng)這種夾層的底板可接受必定分量時(shí)，能夠在上面設(shè)置過(guò)濾器及排風(fēng)設(shè)備等。

(2)房間技能夾層。這種方法和只要頂部夾層比較，能夠削減夾層的布線(xiàn)與高度，能夠省去回風(fēng)管道回來(lái)上夾層所需的技能夾道。鄙人夾道內(nèi)還可設(shè)回風(fēng)機(jī)動(dòng)力設(shè)備配電等，某層凈化車(chē)間的上夾道能夠兼做上一層的下夾道。