無(wú)塵車(chē)間設(shè)計(jì)要點(diǎn)：

　　1、風(fēng)管設(shè)計(jì)

　　在無(wú)塵車(chē)間工程中，凈化空調(diào)系統(tǒng)對(duì)風(fēng)管設(shè)計(jì)的要求是，既有效地送風(fēng)回風(fēng)，又要達(dá)到合理的經(jīng)濟(jì)效果。前者要求風(fēng)管阻力小、嚴(yán)密性好，不漏氣，不發(fā)塵，不積塵，不污染，可耐火、耐腐蝕、耐潮濕，又同時(shí)選擇合適的材料進(jìn)行風(fēng)管鋪設(shè)，主風(fēng)管支風(fēng)管的選材規(guī)格應(yīng)有所區(qū)別。

　　2、電話和火警設(shè)備

　　在潔凈廠房設(shè)置的電話采用對(duì)講面板設(shè)計(jì)，既滿足凈化環(huán)境的要求，也可以減少人員在潔凈區(qū)走動(dòng)，減少發(fā)塵量，也可在萬(wàn)一發(fā)生火災(zāi)時(shí)及時(shí)與外部聯(lián)系，也為正常工作聯(lián)系創(chuàng)造條件。此外，無(wú)塵凈化車(chē)間還應(yīng)設(shè)置火災(zāi)報(bào)警系統(tǒng)，防止火情不易被外部發(fā)現(xiàn)而造成重大經(jīng)濟(jì)損失。

生產(chǎn)工藝連續(xù)，各室無(wú)獨(dú)立性

適用于大規(guī)模的生產(chǎn)工藝,潔凈室工程面積大,間數(shù)多,位置較集中,但各室潔凈度不宜相差太大,通過(guò)所選送回風(fēng)口的形式及不同的布置,可實(shí)現(xiàn)多種氣流組織方式,統(tǒng)一送、回風(fēng),管理集中,系統(tǒng)管理復(fù)雜,各潔凈室不可單獨(dú)調(diào)節(jié),維修量小,此潔凈室工程的造價(jià)較低.

生產(chǎn)工藝單一，各室獨(dú)立

適用于改造工程,潔凈室工程位置分散,潔凈室工程無(wú)塵車(chē)間單一,可實(shí)現(xiàn)多種氣流組織形式,但噪聲和振動(dòng)需加以控制,操作簡(jiǎn)單,維修量小,調(diào)節(jié)管理方便,此潔凈室工程、凈化車(chē)間的造價(jià)較高.

直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，這種車(chē)間溫度不宜超過(guò)25度，濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。