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硅片切割設(shè)備
金剛線專用設(shè)備主要有進(jìn)口專機(jī)和國產(chǎn)轉(zhuǎn)機(jī),進(jìn)口專用設(shè)備的報(bào)價(jià)基本在350萬到500萬之間,代表廠商有梅耶博格MB-288、NTC PV600DT等設(shè)備;國產(chǎn)金鋼線專用設(shè)備報(bào)價(jià)基本在200-240萬之間,無論是國產(chǎn)專機(jī)還是進(jìn)口專機(jī),其前期投入均較大,且面臨原有設(shè)備閑置浪費(fèi)的風(fēng)險(xiǎn),因此,目前該方案主要適用于近期計(jì)劃新上硅片切割 設(shè)備廠家,如隆基、協(xié)鑫、阿特斯、比亞迪等近期新上的切片項(xiàng)目均采用的是金鋼線專用設(shè)備。其主要優(yōu)勢(shì)在于:高效率、低成本、高精度、窄切縫、小翹曲變形、底表面損傷、底碎片率、無環(huán)境污染等特點(diǎn)。
高速線切割設(shè)備
樹脂金剛石線的特點(diǎn):
高強(qiáng)度樹脂及金剛石相結(jié)合帶來的強(qiáng)的切割能力,線徑及金剛石粒度的配合及控制表現(xiàn)出了更好的硅片表面質(zhì)量及切割表現(xiàn),高耐扭曲能力的母線帶來了非常低的斷線率。但樹脂金剛石線的工藝復(fù)雜,目前主要依靠進(jìn)口,其成本較高,因此還得不到廣泛的應(yīng)用。
線切割設(shè)備多采用電鍍金剛石線,國內(nèi)的線切割設(shè)備生產(chǎn)廠家眾多,生產(chǎn)能力強(qiáng),已經(jīng)可以滿足各領(lǐng)域的切割需求
精密切割機(jī)
金剛石線切割機(jī)的選擇:
當(dāng)切割樣品較小,切割深度較小時(shí)通??蛇x用小型金剛石線切割機(jī)。
市場(chǎng)上有專為材料研究人員而設(shè)計(jì),用于脆性材料樣品的精密切割機(jī)??捎糜诟鞣N不同硬度材料的切割,特別是適用于脆性、易解理的晶體切割;操作簡便,加工質(zhì)量優(yōu)良;設(shè)備小巧,無需占用大面積位置。
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