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發(fā)布時間:2021-08-24 08:37  







磁控濺射真空鍍膜機運作就是通過真空狀態(tài)下正交磁場是電子轟擊亞氣形成的亞離子再轟擊靶材,靶材離子沉積于工件表面成膜。

真空狀態(tài)就需要抽氣系統(tǒng)來進行控制,每個抽氣口都要同時開動并力度一致,這樣就能控制好抽氣的均勻性,如果抽氣不均勻,在真空室內(nèi)的壓強就不能均勻了,壓強對離子的運動是存在一定的影響的。另外抽氣的時間也要控制,太短會造成真空度不夠,但太長又浪費資源,不過有真空計的存在,要控制好還是不成問題的。



磁控濺射真空鍍膜機導(dǎo)致不均的因素哪些?專業(yè)從事這方面工作的朋友其實還是比較的了解的,它主要可以分為以下幾個因素就是:真空狀態(tài)、磁場、亞氣。

磁場是正交運作的,但你要將磁場強度做到一定均勻是不可能的,一般磁場強的地方,成膜厚度就大,相反就小,所以會造成膜層厚度的不一致,不過在生產(chǎn)過程中,由于磁場的不均勻?qū)е碌哪硬痪鶆虻那闆r卻不是常見的,為什么呢?



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光學(xué)鍍膜還可以用于制造超導(dǎo)膜和慣性約束巨變反應(yīng)用的微珠鍍層。此外還可以對珠寶、鐘表外殼表面、紡織品金屬花紋、金絲銀絲線等用蒸發(fā)光學(xué)鍍膜蒸鍍裝飾用光學(xué)鍍膜,以及采用濺控濺射光學(xué)鍍膜對刀具、模具等制造超硬膜。


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