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光學鍍膜機的應用及應用
光學鍍膜機的應用 光學鍍膜機可鍍制層數(shù)較多的短波通、長波通、增透膜、反射膜、濾光膜、分光膜、帶通膜、介質(zhì)膜、高反膜、彩色反射膜等各種膜系,能夠?qū)崿F(xiàn)0-99層膜的膜系鍍膜,也能滿足如汽車反光玻璃、望遠鏡、眼鏡片、光學鏡頭、冷光杯等產(chǎn)品的鍍膜要求。配置不同的蒸發(fā)源、電子槍和離子源及膜厚儀可鍍多種膜系,對金屬、氧化物、化合物及其他高熔點膜材皆可蒸鍍,并可在玻璃表面超硬鍍膜。 光學鍍膜機應用于觸控面板抗指紋玻璃及金屬防指紋,除了防指紋應用外,還可應用于防銹、防污、保護納米鍍膜。防污膜(AS),又稱防水膜或防指紋(AF膜),主要是通過真空鍍膜的技術(shù)將有機氟化物材料沉積到基材上,使基材表面具有防水、防油、防指紋、防污染等功能。
真空鍍膜機注意事項及保養(yǎng)
真空鍍膜機注意事項及保養(yǎng) 真空鍍膜機的鍍膜原理是在高真空條件下,利用電子束對金屬或非金屬材料加熱到適當溫度,熱蒸發(fā)成蒸氣分子材料,蒸發(fā)出來的分子到處迸射,碰到待鍍物體,隨之沉積在基材表面形成膜層。真空鍍膜機廣泛應用于微電子,光學成膜,裝飾,表面工程等領域。它在防止油污和工作效率上具有非常好的性能。而想要真空鍍膜設備長期穩(wěn)定的運行,正確的使用及保養(yǎng)方法是必不可少的。 開機前要檢查水電氣是否正常,開機后,光控系統(tǒng)等于要先穩(wěn)定1小時再使用,鍍膜前要檢查光控片、晶控片壽命,加料、清潔之類的需要蓋上離子源的防護板,防止離子源柵網(wǎng)損壞。為了使光學鍍膜機能正常工作,平時需要對機器進行保養(yǎng),定期更換泵油,2個月左右為宜,真空泵也2個月一換,新的真空泵需要在使用半個月就立即更換,定期清潔設備及周邊環(huán)境,保持設備及環(huán)境的干凈。
光學鍍膜機對于單片膜色不均勻產(chǎn)生的原因
光學鍍膜機對于單片膜色不均勻產(chǎn)生的原因 光學鍍膜機主要是由于基片凹凸嚴重,與傘片曲率差異較大,基片上部、或下部法線與蒸發(fā)源構(gòu)成的蒸發(fā)角差異較大。造成一片鏡片上各部位接受膜料的條件差異大,形成的膜厚差異大。 另外鏡片被鏡圈()邊緣部遮擋、鏡圈()臟在蒸鍍時污染鏡片等等也會造成膜色差異問題。 改善思路:改善鏡片邊緣的蒸發(fā)角。 改善對策: ㈠ 條件許可,用行星夾具; ㈡ 選用傘片平坦(R大)的機臺; ㈢ 根據(jù)傘片孔位分布,基片形狀,制作專門的鋸齒形修正板。 ㈣ 如果有可能,把蒸發(fā)源往真空室中間移動,也可改善單片的膜色均勻性。 ㈤ 改善鏡圈(),防止遮擋。 ㈥ 注意旋轉(zhuǎn)傘架的相應部位對邊緣鏡片的部分遮擋 ㈦ 清潔鏡圈() ㈧ 改善膜料蒸發(fā)狀況。
真空鍍膜機的工作原理
真空鍍膜機的工作原理 在鍍膜領域,鍍膜后薄膜樣品的厚度是影響薄膜性能的一個重要因素。因此,當評價某薄膜樣品的性能時,需要檢測該薄膜樣品不同厚度下的性能。對于真空鍍膜的情形,這往往需要進行多次試樣的制備。而這樣多次制備樣品存在兩個問題:首先,不同次生長的樣品,儀器的狀態(tài)不同,以至于影響薄膜樣品性能的因素可能不僅僅是厚度;其次,真空鍍膜實驗裝取樣品需要重新進行真空的獲得,非常耗時。增加了生產(chǎn)和檢測的成本。 因此,提供一種多功能磁控濺射鍍膜系統(tǒng),本系統(tǒng)由真空鍍膜系統(tǒng)和手套箱系統(tǒng)集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍,并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。蒸發(fā)鍍膜與手套箱組合,實現(xiàn)蒸鍍、封裝、測試等工藝全封閉制作,使整個薄膜生長和器件制備過程高度集成在一個完整的可控環(huán)境氛圍的系統(tǒng)中,消除有機大面積電路制備過程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響,保障了、大面積有機光電器件和電路的制備。 多功能磁控濺射鍍膜系統(tǒng)主要用途:用于制備各種金屬膜、半導體膜、介質(zhì)膜、磁控膜、光學膜、超導膜、傳感膜以及各種特殊需求的功能薄膜。