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氣浮軸承的分類介紹
氣體潤滑軸承形成承載氣膜的機(jī)理與液體潤滑軸承相同,故分為氣體動(dòng)壓的軸承和氣體靜壓的軸承。
氣體動(dòng)壓的軸承:是利用氣體在楔形空間產(chǎn)生的流體動(dòng)壓力來支承載荷的。常在軸頸或軸瓦的表面做出淺螺紋槽,利用槽的泵唧作用提高承載能力。氣體動(dòng)壓螺旋槽推力軸承:為氣體動(dòng)壓螺旋槽推力軸承。
氣體靜壓的軸承:氣體靜壓的軸承的供氣壓力一般不超過0.6兆帕。氣體通過供氣孔進(jìn)入氣室,然后分?jǐn)?shù)路流經(jīng)節(jié)流器進(jìn)入軸承和軸頸的間隙,再從兩端流出軸承,在間隙內(nèi)形成支承載荷的靜壓氣膜。氣體靜壓的軸承的內(nèi)孔表面一般不開氣腔,以增大氣膜剛度,提高穩(wěn)定性。
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氣浮軸承的應(yīng)用
氣體靜壓的軸承在精密和超精密裝備中應(yīng)用廣泛,比如集成電路生產(chǎn)設(shè)備、平面顯示器生產(chǎn)設(shè)備、半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備、電子生產(chǎn)設(shè)備、太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備、新型元器件生產(chǎn)設(shè)備、檢驗(yàn)和測(cè)量設(shè)備以及高精度機(jī)床等。
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空氣軸承的應(yīng)用:
空氣軸承是利用空氣的彈性勢(shì)能來起支承作用的一種新型軸承。因此,對(duì)于必須要求無污染的工件、或者工作環(huán)境來說,空氣軸承技術(shù)是理想的。
在空氣軸承中,滾珠由氣墊代替??諝廨S承較為人熟知的應(yīng)用之一或許是氣墊船。
巨大的風(fēng)扇在氣墊船下方吹動(dòng)空氣,通過彈性橡膠 “裙邊” 阻止空氣的逸出。氣墊船下方所產(chǎn)生的高氣壓能夠支撐船體重量,因而使其漂浮在氣墊上。
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