無塵室無塵車間的等級標(biāo)準(zhǔn)

先說什么是無塵室，無塵室就是把壓力，溫度，濕度，氣流的分布和塵埃還有速度，控制在一定范圍內(nèi)的一個空間。

而關(guān)于他等級標(biāo)準(zhǔn)是依據(jù)美國聯(lián)邦頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Atandard(FS)209E，1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，無塵室的等級是用在一定塵粒的尺寸的級數(shù)來表示的。制造集成電路所需要的無策劃你是的潔凈度就必須高于1000級，聯(lián)邦規(guī)格的等級中Fed.std清潔度的表示法為：1ft3空氣中，含有多少個0.5μm(micro)以上的微粒子，及稱為[等級○○]。比如說：等級10是指空氣中俺有10個0.5以下的時候。自然界大氣中一般含有的微粒是在300000到30000000個。

在jis的標(biāo)準(zhǔn)下，無塵室的潔凈度有8個等級，也就是說：在1立方公尺的空氣中，粒徑0.1微米的灰塵若是在10個以下時為1;百個以下是100=102是等級2;千個以下時是1000=103等級3，一次類推。而一般潔凈度就是指空氣的潔凈等級。

總之, 潔凈廠房的總圖設(shè)計是一個較為復(fù)雜的協(xié)調(diào)與組合過程, 設(shè)計前應(yīng)盡可能收集足夠的相關(guān)資料, 自始至終貫徹G M P 精神, 從潔凈要求, 方便生產(chǎn), 經(jīng)濟適用的角度出發(fā), 為下一步的廠房平面設(shè)計創(chuàng)造一個良好的條件。

   這項工作應(yīng)以圍繞潔凈技術(shù)與生產(chǎn)工藝要求為中心展開, 對建筑空間進行合理的限定、分割及定性。

   G M P 要潔凈廠房的平面布局遵循以下原則: 平面布置合理、嚴格劃分區(qū)域、防止交叉污染、方便操作生產(chǎn)。

此外，系統(tǒng)顯示的控制信號有：新風(fēng)閥開度、預(yù)熱蒸汽閥開度、表冷器閥門開度、二次加熱器蒸汽閥開度、干蒸汽加濕器閥門開度、排風(fēng)機變頻器輸出頻率等。

凈化空氣處理機組控制器的控制功能除了常規(guī)控制（包括：送風(fēng)機的啟?？刂?、排風(fēng)機啟?？刂疲┕δ芡猓饕菧貪穸茸詣涌刂乒δ芎驼龎鹤詣涌刂乒δ?。

◆ 啟停控制：凈化空調(diào)啟?？刂浦饕革L(fēng)機的啟動和停止，包括送風(fēng)機（或值班風(fēng)機）、排風(fēng)機。啟?？刂品绞娇煞譃槌绦蜃詣涌刂啤⒊绦蚴謩涌刂坪褪謩涌刂迫N。

◆ 手動控制：當(dāng)配電柜上的“手動/ 自動”轉(zhuǎn)換開關(guān)處于“手動”狀態(tài)時，若要操作風(fēng)機，必須在控制柜上通過“啟動”或“停止”按鈕控制設(shè)備啟停（此時自動操作無效）。