微型機械在國外已受到政府部門、企業(yè)界、高等學校與研究機構(gòu)的高度重視。美國MIT、Berkeley、Stanford﹨AT&T的15名科學家在上世紀八十年代末提出'小機器、大機遇：關(guān)于新興領(lǐng)域--微動力學的報告'的國家建議書，聲稱'由于微動力學(微系統(tǒng))在美國的緊迫性，應在這樣一個新的重要技術(shù)領(lǐng)域與其他國家的競爭中走在前面'，建議中央財政預支費用為五年5000萬美元，得到美國領(lǐng)導機構(gòu)重視，連續(xù)大力投資，并把航空航天、信息和MEMS作為科技發(fā)展的三大重點。美國宇航局投資1億美元著手研制'發(fā)現(xiàn)號微型'，美國國家科學會把MEMS作為一個新崛起的研究領(lǐng)域制定了資助微型電子機械系統(tǒng)的研究的計劃，從1998年開始，資助MIT，加州大學等8所大學和貝爾實驗室從事這一領(lǐng)域的研究與開發(fā)，年資助額從100萬、200萬加到1993年的500萬美元。把MEMS列為關(guān)鍵技術(shù)項目。美國研究計劃局積極領(lǐng)導和支持MEMS的研究和軍事應用，現(xiàn)已建成一條MEMS標準工藝線以促進新型元件/裝置的研究與開發(fā)。美國工業(yè)主要致力于傳感器、位移傳感器、應變儀和加速度表等傳感器有關(guān)領(lǐng)域的研究。很多機構(gòu)參加了微型機械系統(tǒng)的研究，如康奈爾大學、斯坦福大學、加州大學伯克利分校、密執(zhí)安大學、威斯康星大學、老倫茲得莫爾國家研究等。加州大學伯克利傳感器和執(zhí)行器中心(BSAC)得到和十幾家公司資助1500萬元后，建立了1115m2研究開發(fā)MEMS的超凈實驗室。

 機械加工工藝規(guī)程的制定，大體可分為兩個步驟。首先是擬定零件加工的工藝路線，然后再確定每一道工序的工序尺寸、所用設(shè)備和工藝裝備以及切削規(guī)范、工時定額等。這兩個步驟是互相聯(lián)系的，應進行綜合分析。

 工藝路線的擬定是制定工藝過程的總體布局，主要任務是選擇各個表面的加工方法，確定各個表面的加工順序，以及整個工藝過程中工序數(shù)目的多少等。

砂帶磨削 是用粘有磨料的混紡布為磨具對工件進行加工，屬于涂附磨具磨削加工的范疇，有生產(chǎn)率高、表面質(zhì)量好、使用范圍廣等特點。國外在砂帶材料及制作工藝上取得了很大的成就，有了適應于不同場合的砂帶系列，生產(chǎn)出通用和專用的砂帶磨床，而且自動化程度不斷提高 已有全自動和自適應控制的砂帶磨床 ，但國內(nèi)砂帶品種少，質(zhì)量也有待提高，對機床還處于改造階段。 精密切削 也稱金剛石刀具切削 SPDT ，用高精密的機床和單晶金剛石刀具進行切削加工，主要用于銅、鋁等不宜磨削加工的軟金屬的精密加工

化學拋光 化學拋光是通過磷酸等氧化劑，在一定的條件下，使被加工的金屬表面氧化，使表面平整化和光澤化。化學拋光設(shè)備簡單，可以加工各種形狀的工件，效率較高，加工的表面粗糙度一般為Ra≤0.2μm，但腐蝕液對人體和設(shè)備有損傷，污染環(huán)境，需妥善處理。主要用來對不銹鋼、銅、鋁及其合金的光亮修飾加工。 電化學拋光 電化學拋光是利用電化學反應去除切削加工所殘留的微觀不平度，以提高零件表面光亮度的方法。它比機械拋光具有較高的生產(chǎn)率和小的表面粗糙度：