氦質(zhì)譜檢漏儀示蹤氣體選擇

對示蹤氣體的要求：氦質(zhì)譜檢漏儀都用氦氣(He)作為示蹤氣體，也有用氫氣(H2)作為示蹤氣體的質(zhì)譜檢漏儀器。

氫和氦都是比較理想的示蹤氣體：空氣中的含量少，質(zhì)量輕，運動速度快，同等條件下，直線運動距離長。實際使用中，也相對比較容易獲取，可以大量使用。但氫氣在使用中有一定的安全問題，所以實際大部分檢漏使用的是氦氣。質(zhì)譜檢漏儀器示蹤氣體一般具有以下特點：

1、無害，不能對人體或環(huán)境造成傷害。

2、質(zhì)量輕，惰性氣體，能穿透微小細(xì)縫。

3、化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，不會起化學(xué)反應(yīng)。

4、Z好是只有在空氣中含量盡可能少的氣體，才能滿足檢漏靈敏度方面的要求。

氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)

氦質(zhì)譜檢漏儀分析器的作用是使不同質(zhì)荷比的離子按不同軌跡運動從而將它們彼此分開，僅使氦離子通過其出口隙縫。分析器由一個外加均勻磁場及一個出口電極組成。

氦質(zhì)譜檢漏儀分析器的出口電極一般采用三柵結(jié)構(gòu)。在離子收集極前面有三個柵極G1、G2、G3。G1和G3接地，中間柵極G2與離化室相連。G1柵的狹縫決定了氦離子的運動半徑，而使除氦以外的其他離子打不到收集極上去。中間柵極G2的正電位對于正離子而言相當(dāng)于一個拒斥電場，只有具有一定能量的氦離子才能通過G2的狹縫，而由于碰撞失去能量的其他雜散離子即使進(jìn)入G1狹縫，也不能通過G2狹縫到達(dá)收集極，使收集極的氦離子流不受這些雜散離子的干擾。柵極G3是抑制離子在收集極上打出的二次電子不跑向G2，使它仍返回收集極，以防離子流的不穩(wěn)定。

真空壓力法氦質(zhì)譜檢漏

采用真空壓力法檢漏時，需要將被檢產(chǎn)品整體放入真空密封室內(nèi)，真空密封室與輔助抽空系統(tǒng)和檢漏儀相連，被檢產(chǎn)品的充氣接口通過連接管道引出真空密封室后，再與氦氣源相連，當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時，氦氣就會通過漏孔進(jìn)入真空密封室，再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而實現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測量。真空壓力法的優(yōu)點是檢測靈敏度高，能實現(xiàn)任何工作壓力的漏率檢測，反映被檢件的真實泄漏狀態(tài)。