加工精度達(dá)到 1微米的機(jī)械加工方法。精密機(jī)械加工是在嚴(yán)格控制的環(huán)境條件下，使用精密機(jī)床和精密量具和量儀來實現(xiàn)的。加工精度達(dá)到和超過 0.1微米稱超精密機(jī)械加工。

精密機(jī)械加工的工藝效果是：

①零件的幾何形狀和相互位置精度達(dá)到微米或角秒級；

②零件的界限或特征尺寸公差在微米以下;

③零件表面微觀不平度(表面不平度平均高度差)小于0.1 微米;

④互配件能滿足配合力的要求；

⑤部分零件還能滿足準(zhǔn)確的力學(xué)或其他物理特性要求。

目前已有大量的微型機(jī)械或微型系統(tǒng)被研究出來，例如：尖端直徑為5μm的微型鑷子可以夾起一個紅血球，尺寸為7mm×7mm×2mm的微型泵流量可達(dá)250μl/min能開動汽車，在磁場中飛行的機(jī)器蝴蝶，以及集微型速度計、微型陀螺和信號處理系統(tǒng)為一體的微型慣性組合(MIMU)。德國創(chuàng)造了LIGA工藝，制成了懸臂梁、執(zhí)行機(jī)構(gòu)以及微型泵、微型噴嘴、濕度、流量傳感器以及多種光學(xué)器件。美國加州理工學(xué)院在飛機(jī)翼面粘上相當(dāng)數(shù)量的1mm的微梁，控制其彎曲角度以影響飛機(jī)的空氣動力學(xué)特性。美國大批量生產(chǎn)的硅加速度計把微型傳感器(機(jī)械部分)和集成電路(電信號源、放大器、信號處理和正檢正電路等)一起集成在硅片上3mm×3mm的范圍內(nèi)。日本研制的數(shù)厘米見方的微型車床可加工精度達(dá)1.5μm的微細(xì)軸。
精密和超精密加工時現(xiàn)代機(jī)械加工制造技術(shù)的一個重要組成部分，是衡量一個國家高科技制造業(yè)水平高低的重要指標(biāo)之一。20世紀(jì)60年代以來，隨著計算機(jī)及信息技術(shù)的發(fā)展，對制造技術(shù)提出了更高的要求，不僅要求獲得極高的尺寸、形位精度，而且要求獲得極高的表面質(zhì)量。正是在這樣的市場需求下，超精密加工技術(shù)得到了迅速的發(fā)展，各種工藝、新方法不斷涌現(xiàn)。CNC技術(shù)、材料技術(shù)、激光技術(shù)以及CAD技術(shù)等現(xiàn)代的科技成果，是現(xiàn)代先進(jìn)機(jī)械加工技術(shù)的重要組成部分。
應(yīng)用范圍廣泛，從軟金屬到淬火鋼、不銹鋼、高速鋼等難切削材料，及半導(dǎo)體、玻璃、陶瓷等硬脆非金屬材料，幾乎所有的材料都可利用磨削進(jìn)行加工。 珩磨 用油石砂條組成的珩磨頭，在一定壓力下沿工件表面往復(fù)運(yùn)動，加工后的表面粗糙度可達(dá)Ra0.4 ~0.1 μm，可到Ra0.025μm，主要用來 加工鑄鐵及鋼，不宜用來加工硬度小、韌性好的有色金屬。 精密研磨與拋光 通過介于工件和工具間的磨料及加工液，工件及研具作相互機(jī)械摩擦，使工件達(dá)到所要求的尺寸與精度的加工方法。