潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。

從確保潔凈室內(nèi)相對濕度的精度而言，上述的淋水、高壓噴霧、濕膜等水加濕方法其控制的精度不高，故當(dāng)潔凈室內(nèi)相對濕度精度要求≤±10%時不采用。而采用噴干蒸汽和電熱（電極）式加濕的方法。噴干蒸汽的加濕方法要注意干蒸汽加濕器有一個噴蒸汽效率的問題，并非噴入空調(diào)箱內(nèi)的蒸汽全部加入到空調(diào)送風(fēng)中，而其中有一部分變成凝結(jié)水排放出來。因此，選擇干蒸汽加濕的加濕量時應(yīng)考慮其噴蒸的效率。有的廠家給出的噴蒸效率為70%。

    口罩無塵車間一般要通過初效過濾、中效過濾、過濾等三個過濾段，氣流→初效凈化→加濕段→加熱段→表熱段→表冷段→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→凈化風(fēng)口→吹入房間帶走塵埃細(xì)菌等顆?！仫L(fēng)百葉窗→初效凈化重復(fù)以上過程，即可達(dá)到凈化目的。　　十萬級潔凈室對溫度、濕度無特殊要求時，以穿著潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜，溫度一般控制在冬季20~22℃，夏季24~26℃，動搖±2℃；冬季潔凈室濕度控制在30－50％，夏季潔凈室濕度控制在50－70％。

無塵車間一般都是運用PVC地板，運用PVC地板的以下優(yōu)點：

　　無塵車間PVC地板的色彩多樣，色彩能夠依據(jù)車間的整體狀況確定。能夠依據(jù)各個車間的需求挑選適宜的色彩。

　　無塵車間PVC地板有著很好的吸音作用，車間機(jī)器運作的會有必定的噪音，而PVC地板杰出的吸音性剛好能降低噪音，使工人能在杰出的環(huán)境中工作。

      無塵車間PVC地板有抑菌作用，無塵車間一旦遇到發(fā)霉的狀況就比較麻煩，所以無塵車間都選用PVC地板。PVC地板不含有有毒的化學(xué)物質(zhì)，而且不會散發(fā)出難聞氣味。無塵車間PVC地板選用無縫工藝，不會滋生細(xì)菌，綠色環(huán)保。