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實踐證明,電子束鋼帶真空鍍膜具有很多優(yōu)點:
(1)可選擇的鍍膜材料多而不受材料熔點限制。能量密度很高的電子束可以使鍍膜材在很短的時間達到3000℃~6000℃。因此,除了熱鍍鋅中常見的鍍鋅、鋁、錫之外,幾乎所有的金屬材料都可以蒸鍍,還可鍍種類眾多的金屬氮化膜,金屬氧化膜和金屬炭化物及各種復(fù)合膜。這為發(fā)展新型帶鋼材料提供了很大的自由度。Parylene在電子產(chǎn)品領(lǐng)域的優(yōu)點:惡劣環(huán)境下線路板保護涂層,列入美軍標MIL-I-46058C。
(2)鍍膜材料利用率高,環(huán)境污染小。真空鍍膜屬干式鍍膜,沒有有害液體、氣體的產(chǎn)生。
帶鋼鍍膜質(zhì)量好,能獲得均勻、平滑且極薄的鍍膜,鍍膜純度高,耐蝕性和附著力好。鋼帶鍍膜前可經(jīng)電子束預(yù)熱表面活化,鍍膜純度高,沒有中間硬脆的合金層,可以一次沖壓成型,甚至可以卷成直經(jīng)很小的管而不脫落鍍層。
工藝靈活,改變品種方便,可以根據(jù)產(chǎn)品要求靈活地實現(xiàn)在鋼帶上鍍單面、雙面、單層、多層,可以同時鍍兩種材料達到鍍混合膜。鍍膜厚度易于控制,而且可以鍍制超薄膜。
粗抽泵:從大氣壓下開始抽氣,并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵,就是粗油泵。
(4)維持泵:在真空系統(tǒng)中,氣量很小時,不能有效地利用前級泵。為此配置一種容量較小的輔助泵來維持主泵工作,此泵叫維持泵。如擴散泵出口處配一臺小型旋片泵,就是維持泵。
只要儀器和系統(tǒng)控制軟件的連接,它可以控制涂層的全過程。但(QCM)的準確性是有限的,鍍膜機部分原因是其監(jiān)測代替光學(xué)厚度的涂層質(zhì)量。