流量控制器的主要優(yōu)點是什么？

(1)  流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動而失準。

對于多數流量測控系統(tǒng)而言，很難避免系統(tǒng)的壓力波動及環(huán)境和介質的溫度變化。對于普通的流量計，壓力及溫度的波動將導致較大的誤差；對于質量流量計 / 質量流量控制器，則一般可以忽略不計。

(2)  測量控制的自動化

 質量流量控制器可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。這樣很容易實現對流量的數字顯示﹑累積流量自動計量﹑數據自動記錄﹑計算機管理等。對質量流量控制器而言，還可以實現流量的自動控制。(3)地定量控制流量質量流量控制器可以地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量控制﹑對于不同氣體的比例控制等特別有用。通常, 模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0~ 5V或4~20mA, 數字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數字串行通訊口, 能非常方便地與計算機連接, 進行自動控制。

(3)  地定量控制流量

質量流量控制器可以地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量控制﹑對于不同氣體的比例控制等特別有用。

(4)  適用范圍寬

有很寬的工作壓力范圍，我們的產品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質（包括一些腐蝕性氣體，如HCL）；在探頭設計中，盡可能采用導熱系數小的材料制造構架并采用絕熱、絕緣硅膠對探頭密封以減少導熱量。有很寬的流量范圍，我們的產品流量范圍可達0～5 sccm，流量范圍可達0～200 slm。流量顯示的分辨率可達滿量程的0.1%, 流量控制范圍是滿量程的2~100% (量程比為-- 50:1), 因此在很多領域得到廣泛應用。

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流量控制器的工作壓差范圍是個什么概念?

質量流量控制器(MFC)中設置有一個氣體流量調節(jié)閥門, 閥門能使通過控制器的流量從零調節(jié)到測量的滿量程, 在工作的過程當中, 控制器的入口和出口之間會產生一個氣壓降, 即壓差。對于多數流量測控系統(tǒng)而言，很難避免系統(tǒng)的壓力波動及環(huán)境和介質的溫度變化。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差低于值(0.1 MPa), 有可能控制達不到滿量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能關閉時流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時, 無論用戶工作的反應室是真空還是高壓, 應做到使MFC進出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內, 并且要求氣壓要相對穩(wěn)定。

流量控制器的性能參數

流量控制器的特點是：當自力式流量控制閥進口、出口壓差變化時，通過自力式流量控制閥的流量恒定不變。

流量控制器的性能參數有：流量控制精度、工作壓差范圍、啟動壓差。

流量控制精度指的是流量控制器的控制流量的誤差，行業(yè)標準中的誤差要求小于等于8％，A類產品的誤差小于等于5％。流量控制精度的高低取決于流量控制器的設計、加工和材質。

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