真空檢漏

超聲波法

該方法實際上是聽音法的一種。它是將泄漏聲音中可聽頻率部分截掉，僅僅使超聲波部分放大，以檢測出泄漏。氫氣檢漏法的工藝和方法批量生產(chǎn)的用戶采用上述控制器進行示蹤氣體的充注，達到收到壓力后控制器會給出提示，這時操作人員即可進行檢漏操作，然后通過控制器把氣體排出。檢測時，可以直接使用超聲波檢測器，根據(jù)檢測儀表指針是否擺動，確定有無泄漏。也可以采用使超聲波回到可聽頻率范圍內(nèi)鳴笛的方法。采用后一種原理制造的超聲波轉(zhuǎn)換器不僅在被試驗物加壓時可以使用，在抽真空時，由于吸入的空氣發(fā)出超聲波，因而，采用真空法時也可以使用。

超聲波轉(zhuǎn)換器由于只檢測超聲波部分，在普通工廠的噪音條件下，不受明顯干擾，因此檢漏效果很好。

該法的靈敏度與被試驗物體的加壓、減壓狀況、泄漏的大小、泄漏點與檢漏器（探頭）間的距離等因素有關(guān)。當泄漏點與探頭距離很近時，超聲波轉(zhuǎn)換器的靈敏度可達1′10-2cm3/s。

檢漏時將檢漏器的靈敏度調(diào)到較大，一邊移動探頭，一邊偵聽，使能聽到的超聲波發(fā)出的聲音達到較大。水壓法對壓力容器或密封裝置進行試驗時，先將容器或密封裝置內(nèi)部裝滿水，再用水泵向里注水，觀察設備或密封裝置周圍有無水漏出。然后，再尋找發(fā)出超聲波的位置，以便確定泄漏點。但在探頭不易接近的地方出現(xiàn)泄漏時，就很準確地判斷出泄漏點。這種方法操作簡便，人為因素較小，不同檢測人員所得到的檢測結(jié)果基本相同。

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真空設備檢漏

氦質(zhì)譜檢漏儀實際上可以說是一個檢氦儀，通過檢測氦氣的含量來確定是否有泄漏。而對氦的檢測則使用的是質(zhì)譜儀，是只檢測氦的專用質(zhì)譜儀，這種質(zhì)譜儀將其它質(zhì)量數(shù)的氣體都屏蔽掉了。質(zhì)譜儀要想正常工作，需要真空環(huán)境。1g/y，其氣體使用成本僅是氦氣的1/10到1/20，同時氦氣檢漏法要增加一些輔助設備，如氦氣回收系統(tǒng)等。至少要在 10-3 mbar 以下，空氣的流動才體現(xiàn)為分子流，質(zhì)譜儀才能穩(wěn)定正常工作。所以檢漏儀中還有一套高真空系統(tǒng)。

北京科儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限公司（簡稱：科儀創(chuàng)新）出資成立，創(chuàng)建于2015年，注冊資金500萬?？苾x創(chuàng)新產(chǎn)品主要有：薄膜制備設備，真空冶金設備，檢漏設備，真空系統(tǒng)等非標真空產(chǎn)品；另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調(diào)冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。系列分子泵，離子泵，鈦升華泵，深冷捕集泵等高真空獲得設備；系列干式渦旋泵，干式爪泵，干式螺桿泵等無油真空獲得設備；超高真空環(huán)境模擬設備等高新技術(shù)產(chǎn)品。

如何選擇檢漏方式，與檢測對象的工作環(huán)境有很大關(guān)系，盡量做到與檢測對象的工作狀態(tài)一致。如檢測對象工作時內(nèi)部處于正壓，則用正壓模式，如檢測對象工作時內(nèi)部處于負壓，則用真空模式。采用后一種原理制造的超聲波轉(zhuǎn)換器不僅在被試驗物加壓時可以使用，在抽真空時，由于吸入的空氣發(fā)出超聲波，因而，采用真空法時也可以使用。HLT260型氦質(zhì)譜檢漏儀具有嗅探和抽真空2種檢漏模式，即正壓模式和負壓模式。詳細檢漏方法與測量工作過程如下：

在抽真空方式下，待檢漏的器件通過測試端口與檢漏儀相連，

待測器件被檢漏儀內(nèi)部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空（如果待測器件容積較大，則需額外的泵組一起協(xié)同作業(yè)以提高xiao率）。只需測量待測器件外部大氣通過器壁的漏孔進入器件內(nèi)部的氦的多少便可以判斷漏率的大小。同時，由于氫氣在一般環(huán)境中的含量濃度都非常低，所以不會因本底污染而導致誤報警。如果需要得到精que的漏率數(shù)值，則必須等待整個測量系統(tǒng)的真空達到穩(wěn)態(tài)，