什么是流量控制器

質(zhì)量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有質(zhì)量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設(shè)定值。質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等。特點：精度高，重復(fù)性好。除正常安裝要求外，要特別注意減少振動影響，因為質(zhì)量流量控制器是基于振動原理工作的，外加振動會引入干擾。

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流量控制器

質(zhì)量流量控制器在正常工作時，流體在旋轉(zhuǎn)的管內(nèi)流動時會對管壁產(chǎn)生一個力，它是科里奧利在1832年研究水輪機(jī)時發(fā)現(xiàn)的，簡稱科氏力。質(zhì)量流量計以科氏力為基礎(chǔ)，在傳感器內(nèi)部有兩根平行的T型振管，中部裝有驅(qū)動線圈，兩端裝有拾振線圈，變送器提供的激勵電壓加到驅(qū)動線圈上時，振動管作往復(fù)周期振動，工業(yè)過程的流體介質(zhì)流經(jīng)傳感器的振動管，就會在振管上產(chǎn)生科氏力效應(yīng)，使兩根振管扭轉(zhuǎn)振動，安裝在振管兩端的拾振線圈將產(chǎn)生相位不同的兩組信號，這兩個信號差與流經(jīng)傳感器的流體質(zhì)量流量成比例關(guān)系。計算機(jī)解算出流經(jīng)振管的質(zhì)量流量。不同的介質(zhì)流經(jīng)傳感器時，振管的主振頻率不同，據(jù)此解算出介質(zhì)密度。安裝在傳感器器振管上的鉑電阻可間接測量介質(zhì)的溫度。被加熱探頭里面含有一個加熱器，在靠近壁面附近布置一個溫差熱電偶并用導(dǎo)熱系數(shù)與密度之比較大的石墨填充。

注意選擇正確的工作壓力指標(biāo)

不同的產(chǎn)品工作壓力指標(biāo)可能不同，注意選擇適合自己的產(chǎn)品。

質(zhì)量流量控制器（MFC）除工作壓力之外，還有另一項工作壓力指標(biāo)：工作壓差，即MFC進(jìn)氣端和出氣端之間的壓差，選型時要注意，使用時也要注意。

 注意選擇合適的精度指標(biāo)

準(zhǔn)確度﹑線性﹑重復(fù)精度是比較重要的幾項指標(biāo)，其中重復(fù)精度在很多應(yīng)用場合尤為重要。指標(biāo)不一定追求高，應(yīng)考慮自己的實際需要。

如果對廠家給出的指標(biāo)不放心，有條件的用戶也可以自己標(biāo)定一下。標(biāo)定的方法參見下面的有關(guān)內(nèi)容。