特種氣體是指稀有氣體或超高純度（99.995% 以上）的氣體。包括分析、醫(yī)1藥、電子及石油化工在內(nèi)的許多行業(yè)都會受益于特種氣體的獨特性質(zhì)，它有助于提高產(chǎn)量、優(yōu)化性能以及降低成本。特種氣體廣泛應用于半導體制造行業(yè),是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)不可缺少的原材料,它們主要應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。電子工業(yè)是當今推動科技發(fā)展的高新技術產(chǎn)業(yè)，由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高，為有別于其它領域應用的氣體，人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體。

 對特氣的危害性進行分析,通過本質(zhì)安全設計,消除安全隱患。根據(jù)行業(yè)規(guī)范,對特氣房選址、安全間距、防火分區(qū)、房間通風、電氣防爆等進行評估。管道設計應進行保壓和氦測漏,確保系統(tǒng)密閉性。特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領域,其中主要應用于半導體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導體工業(yè)中應用的有110 余種單元特種氣體,其中常用的有20～30 種。根據(jù)有關數(shù)據(jù)顯示，中國特種功能電子氣體市場規(guī)模逐年增長，僅2016年，中國特種電子氣體市場規(guī)模約為98億元左右。值得關注的是，從產(chǎn)業(yè)鏈以及技術層面歐美國家占據(jù)較好的地位。

 特種氣體是指那些在特定領域中應用的，對氣體有特殊要求的純氣，高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。作為基礎化工材料，特種氣體隨著新產(chǎn)品技術的發(fā)展，應用范圍越來越廣泛。特種氣體興起于60年代中期，作為基礎化工材料，主要運用于大型石油化工、半導體器件、光導纖維、激光、臨床診斷、水果催熟、食品保鮮等領域。隨著新產(chǎn)品技術的發(fā)展，其應用范圍也越來越廣泛。特種氣體應用于國民經(jīng)濟的很多行業(yè), 它在電子行業(yè)、石油化工、醫(yī)1藥等各領域發(fā)揮著巨大的作用。我國特種氣體經(jīng)過30余年的發(fā)展, 無論在氣體品種上,還是在數(shù)量上, 都以的速度發(fā)展, 生產(chǎn)的品種基本上滿足了市場的需求。

 特種氣體屬于工業(yè)氣體的一種。工業(yè)氣體是現(xiàn)代工業(yè)重要的基礎原料，根據(jù)不同氣體的生產(chǎn)工藝和用途，可以將工業(yè)氣體分為特種氣體、合成氣體、空分氣體三大類。特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領域,其中主要應用于半導體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導體工業(yè)中應用的有110 余種單元特種氣體,其中常用的有20～30 種。電子工業(yè)是當今推動科技發(fā)展的高新技術產(chǎn)業(yè)，由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高，為有別于其它領域應用的氣體，人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體。