液態(tài)氦氣沸點極低,當溫度降至2

液態(tài)氦氣沸點極低，當溫度降至2.178K時，就轉(zhuǎn)變?yōu)橐环N粘度接近于零的具有流動性的液氦，此時的液態(tài)氦氣被稱為超流體。液態(tài)氦氣已實際應(yīng)用在許多晶圓處理程序步驟中，它可在高壓氣相化學沉積(HP-CVD)以及蝕刻程序上作為晶背冷卻之用，并且它也可用作為攜載氣體應(yīng)用在CVD以沉積抗反射層、氧氮化合物及其它薄膜用。

標準氣體引氣體工業(yè)名詞

標準氣體引氣體工業(yè)名詞，標準氣體屬于標準物質(zhì)。標準物質(zhì)是高度均勻的，良好穩(wěn)定和量值準確的測定標準，它們具有復(fù)現(xiàn)，保存和傳遞量值的基本作用，在物理，化學，生物與工程測量領(lǐng)域中用于校準測量儀器和測量過程，評價測量方法的準確度和檢測實驗室的檢測能力，確定材料或產(chǎn)品的特性量值，進行量值仲裁等?；旌蠚怏w是指含有兩種或兩種以上有效組份，或雖屬非有效組份但其含量超過規(guī)定限量的氣體。

配氣用的柱射器必須氣密性好,死體積小,制度準確

配氣用的柱射器必須氣密性好，死體積小，制度準確。配氣前放一小片聚四氟乙烯薄片，以備攪拌用。柱射器配氣法雖然簡便易行，配制某些標準氣體時濃度也很準確，但是，由于受柱射器內(nèi)壁吸附、死體積大和液體揮發(fā)不完全等因素的影響，配制的氣體濃度誤差較大，許多有機化合物的標準氣體都不宜用該法配制。用揮發(fā)性液體配氣時，尤其要經(jīng)過驗證合格后才能用柱射器配氣。