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超精密加工機(jī)的需求急劇增加，在工業(yè)界的應(yīng)用包括非球面光學(xué)鏡片、Fresnel鏡片、超精密模具、磁盤驅(qū)動器磁頭、磁盤基板加工、半導(dǎo)體晶片切割等。在這一時期，超精密加工設(shè)備的相關(guān)技術(shù)，例如控制器、激光干涉儀、空氣軸承精密主軸、空氣軸承導(dǎo)軌、油承導(dǎo)軌、摩擦驅(qū)動進(jìn)給軸也逐漸成熟。

超精密加工的精度比傳統(tǒng)的精密加工提高了一個以上的數(shù)量級。到20世紀(jì)80年代，加工尺寸精度可達(dá)10納米(1×10-8米)，表面粗糙度達(dá)1納米。超精密加工對工件材質(zhì)、加工設(shè)備、工具、測量和環(huán)境等條件都有特殊的要求，需要綜合應(yīng)用精密機(jī)械、精密測量、精密伺服系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)控制以及其他先進(jìn)技術(shù)。工件材質(zhì)必須極為細(xì)致均勻，并經(jīng)適當(dāng)處理以消除內(nèi)部殘余應(yīng)力,保證高度的尺寸穩(wěn)定性,防止加工后發(fā)生變形。

應(yīng)用CNC零件加工中心的空運(yùn)轉(zhuǎn)功用能夠檢查走刀軌跡的正確性。當(dāng)程序輸入CNC零件加工中心后，能夠裝上刀具或工件，然后按下空運(yùn)轉(zhuǎn)按鈕，此時主軸不轉(zhuǎn)，工作臺按程序軌跡自動運(yùn)轉(zhuǎn)，此時便能夠發(fā)現(xiàn)刀具能否有可能與工件或夾具相碰。但是，在這種狀況下必需要保證裝有工件時，不能裝刀具;裝刀具時，就不能裝工件，否則會發(fā)作碰撞。

   精細(xì)零件加工是為了完成多種工序于自動狀態(tài)的數(shù)控設(shè)備，主要是關(guān)于一些固定的大批量的消費(fèi)作業(yè)。但關(guān)于模具行業(yè)和小批量消費(fèi)單位千萬不要動不動就上加工中心，很多的廠家買加工中心當(dāng)數(shù)控銑來運(yùn)用。

在機(jī)械檢修中，零件一般都要進(jìn)行逐個檢查，其主要內(nèi)容可分為以下幾個方面：

1)零件幾何精度的檢查

幾何精度包括尺寸精度和形狀位置精度，但檢修工作有時不是追求單個零件的幾何尺寸，而是要求相對的配合精度，這往往是檢查工作中重要的一環(huán)。

形狀和位置精度在檢修中常見的有圓度、圓柱度、同心度、同軸度、平行度和垂直度等。

2)表面質(zhì)量的檢查

檢修工作中的零件表面質(zhì)量的檢查不僅限于表面光潔度的檢查，而是對使用過的零件表面有無劃傷、燒損和拉毛等缺陷的檢查。