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濟(jì)南巴克超聲波科技有限公司是一家專(zhuān)業(yè)從事工業(yè)清洗設(shè)備的研發(fā)、制造、銷(xiāo)售為一體的高新技術(shù)企業(yè),總部位于濟(jì)南市臨港開(kāi)發(fā)區(qū)。
專(zhuān)業(yè)工業(yè)清洗設(shè)備研發(fā)經(jīng)驗(yàn) 實(shí)力見(jiàn)證品牌
擁有專(zhuān)業(yè)技術(shù)研發(fā)團(tuán)隊(duì);
先進(jìn)設(shè)備,產(chǎn)能,交貨準(zhǔn)時(shí);
自有17000余平工廠,20年行業(yè)生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn);
旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機(jī)簡(jiǎn)介
旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機(jī)
1.清洗過(guò)程全程無(wú)人工干預(yù),大量節(jié)省人工費(fèi)用。
2.該設(shè)備是一款低成本,實(shí)用性強(qiáng)的清洗設(shè)備,運(yùn)行過(guò)程中不消耗水,并且清洗液可循環(huán)利用,節(jié)約資源。
3.對(duì)環(huán)境無(wú)污染,對(duì)清洗工件無(wú)損傷。
此方法適用于除去氧化膜或有機(jī)物。因?yàn)榛瘜W(xué)物質(zhì)在硅片表面停留的時(shí)間比較短,對(duì)反應(yīng)需要一定時(shí)間的清洗效果不好。在噴洗過(guò)程中所使用的化學(xué)試劑很少,對(duì)控制成本及環(huán)境保護(hù)有利。
隨著集成電路制程工藝節(jié)點(diǎn)越來(lái)越先進(jìn),對(duì)實(shí)際制造的幾個(gè)環(huán)節(jié)也提出了新要求,清洗環(huán)節(jié)的重要性日益凸顯。
清洗的關(guān)鍵性則是由于隨著特征尺寸的不斷縮小,半導(dǎo)體對(duì)雜質(zhì)含量越來(lái)越敏感,而半導(dǎo)體制造中不可避免會(huì)引入一些顆粒、有機(jī)物、金屬和氧化物等污染物。為了減少雜質(zhì)對(duì)芯片良率的影響,實(shí)際生產(chǎn)中不僅僅需要提高單次的清洗效率,還需要在幾乎所有制程前后都頻繁的進(jìn)行清洗,清洗步驟約占整體步驟的33%。
問(wèn)2
我們正在對(duì)我們的器械清洗機(jī)進(jìn)行日常測(cè)試。在性能測(cè)試之前,是否需要對(duì)每臺(tái)機(jī)器進(jìn)行物理檢查?如果需要,檢查中應(yīng)包括哪些內(nèi)容?
答:為將清洗消毒機(jī)等處理設(shè)備的效率性能最大化,對(duì)設(shè)備及其部件進(jìn)行常規(guī)檢查是非常重要的。記住,清洗架也是處理設(shè)備的一部分,使用前需要小心維護(hù)和檢查。
任一層噴淋臂或輸水性能差異都會(huì)阻礙清洗機(jī)的功能和清洗效果。因此清洗機(jī)每一層的性能都有可能不同。僅測(cè)試一層不能對(duì)清洗機(jī)的整體性能進(jìn)行充分或真實(shí)評(píng)估。