氦質(zhì)譜檢漏儀（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到僅對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

氣泡檢測方法：在密封的產(chǎn)品內(nèi)部注入一定壓力的氣體，然后將產(chǎn)品侵入水(或者其他液體)中，觀察是否有氣泡漏出;或者在產(chǎn)品表面涂抹泡沫液 或者肥皂水看是否有氣泡產(chǎn)生。(此方式落后、效率低、污染或者損壞產(chǎn)品、人工判定不準(zhǔn)確、沒法自動化生產(chǎn))，這是早期人們采用的氣密性檢測 方法，在產(chǎn)線上已經(jīng)不多見，被新型的氣密性測試儀所取代;

壓降檢測方式：在密封的工件內(nèi)中充入一定壓力的氣體，經(jīng)過一段時間保壓(2~5秒)，檢測壓力是否下降，觀察計算壓力變化來判斷產(chǎn)品是否有泄漏 (全過程5~25秒)。此方法氣密性檢測儀配套工裝夾具通用性極強(qiáng)，可以適用于半密封產(chǎn)品和全密封產(chǎn)品。還可以在半密封的工件內(nèi)部抽氣成負(fù)壓來檢測產(chǎn)品時候有泄漏(需要外部防水的產(chǎn)品，完全模擬水進(jìn)入產(chǎn)品的方向)。 壓降方式、通用性強(qiáng)、檢出率高、無損檢測。其中多通道氣密性檢測儀可以一次同時檢測多個產(chǎn)品，這是目前主流的氣密性檢測儀檢測方式;