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1級:主要應(yīng)用于電子工業(yè),這是目前對凈化工程要求高的環(huán)境,集成電路要求的精度要達到亞微米。隨著微電子工業(yè)技術(shù)領(lǐng)域的突飛猛進,對潔凈室的要求越來越高。及時生產(chǎn)間內(nèi)的例子直徑僅有1微米,也會使產(chǎn)品壽命受到影響。壓力差的維持依靠新風量,這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。凈化工程的等級劃分比較的嚴格,一般按照7個等級進行的劃分,分別是1級,10級,100級,1000級,10000級,100000,1000000級,凈化安全要求是根據(jù)等級來實施的,凈化工程等級數(shù)越小,級別是越高的,其含塵量越少,排名是靠前的。
壓力差的維持依靠新風量,這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間"直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過25度。
現(xiàn)在我們國家的凈化工程已經(jīng)在朝著節(jié)能的方向發(fā)展了,其他人很少知道凈化工程的耗能量特別大,時候普通寫字樓的20倍,比美國更發(fā)達國家高出了15%??吹竭@些令人心驚的數(shù)字,我們國家的科學(xué)家們從節(jié)能的角度出發(fā)從根本上出出發(fā),設(shè)計出能夠節(jié)省的相關(guān)設(shè)備。排風系統(tǒng)有一般排風系統(tǒng)、有機氣體排風系統(tǒng)、酸性氣體排風系統(tǒng)、堿性氣體排風系統(tǒng)等,凈化車間設(shè)計時,要根據(jù)實際情況選擇。壓力差的維持依靠新風量,這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。