長方形一體成型腔室

超高真空(UHV)是一門精密技術的藝術，各種鍍膜、檢測分析、量測、及其他實驗皆可根據(jù)需求整合在一個或多個的超高真空(UHV)腔體(箱體)，或以超高真空傳輸系統(tǒng)進行鏈接，Htc日揚真空在超高真空(UHV)腔體(箱體)制作擁有豐富經(jīng)驗及技術。我們根據(jù)不同的實驗需求對超高真空(UHV)腔體(箱體)進行精密的設計，能滿足配合客戶實驗上的各種質量及性能要求。

1. 腔體常規(guī)材質：不銹鋼304，可定制不銹鋼316、316L腔體；

2. 腔體可根據(jù)需求設有快開進樣門，鉸鏈機構，移動靈活，快開門密封件材質采用氟橡膠；

3. 法蘭接口、腔體大小根據(jù)客戶需求定制；

4. 腔室內外徹底超聲波清洗，表面清潔；

5. 腔室漏率≤1X10-12Pam3/s;

6. 配合適的真空系統(tǒng)，真空度可進入10-6Pa；

7. 供貨周期：確認方案后5到6周；

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真空腔體中抽氣管道的設計原則

為一個工藝選擇真空泵時，工藝室和泵之間的抽氣管道可能和泵的選擇一樣重要。要使腔體抽氣速率達到大，需要筆直的抽氣管道(長度短)并使用直徑盡可能大的管道。

看起來似乎很簡單，但是這里有許多因素需要考慮。實際上，如果我們從物理學角度考慮，就可以明確哪些是關鍵因素。真空腔體

在穩(wěn)定狀態(tài)的條件下，如果抽氣管道內沒有氣源(泄漏)或氣體減少(冷凝)，抽氣管道任何截面的質量流量必須相同。簡單而言，進入工藝室的氣體必須從泵出來。

已知氣體摩爾流量為M(公斤/摩爾)、抽氣速率為S(立方米/秒)、壓力為P(帕)、溫度為T(開爾文)，則質量流量計算如下：

質量流量(公斤/秒)=(M*P*S)/(Ro*T)

Ro=通用氣體常數(shù)

對于大多數(shù)抽氣系統(tǒng)而言，氣體溫度(T)在抽氣管道中不會顯著減少，而且可以合理地假定為恒定的。

在此情況下，抽氣管道任何截面(P*S)的乘積(稱為通量)相同。真空腔體

由于抽氣管道的壓力差是氣體流動的推動力，可見壓力(P)必須在工藝室中為高值，在泵入口為低值。

由于我們假定通量恒定，可見抽氣速率(S)在工藝室為小值，在泵入口為大值(等于泵速)。

真空腔體介紹

真空腔體真空是指低于大氣壓力的氣體的給定空間,真空是相對于大氣壓來說的,并非空間沒有物質存在.

真空是物理學里面的一個概念,開始反映的是空無一物的狀態(tài).即真空并不是無物而是有實物粒子和虛粒子轉化的,但整體對外是不顯示物理屬性的宏觀總體.真空就像是一個能量海,不斷振蕩并且充滿著巨大能量.

真空的屬性確實是需要用空間來描述,但只是種數(shù)學表示,是為了方便研究才引入的參量,并不是說真空的性質取決于空間.

真空腔體是建立在低于大氣壓力的環(huán)境下,以及在此環(huán)境中進行工藝制作、科學試驗和物理測量等所需要的技術.

用現(xiàn)代抽氣方法獲得的很低壓力,每立方厘米的空間里仍然會有數(shù)百個分子存在.

氣體稀薄程度是對真空的一種客觀量度,直接的物理量度是單位體積中的氣體分子數(shù).氣體分子密度越小,氣體壓力越低,真空就越高.真空常用帕斯卡或托爾做為壓力的單位.