電子束鍍膜設備介紹

以下內(nèi)容由沈陽鵬程真空技術(shù)有限責任公司為您提供，希望對同行業(yè)的朋友有所幫助。

電子束蒸鍍（Electron Beam Evaporation）是物理氣相沉積的一種。與傳統(tǒng)蒸鍍方式不同，電子束蒸鍍利用電磁場的配合可以精準地實現(xiàn)利用高能電子轟擊坩堝內(nèi)靶材，使之融化進而沉積在基片上。電子束蒸鍍可以鍍出高純度的薄膜。

電子束蒸發(fā)鍍膜機的技術(shù)特點

沈陽鵬程真空技術(shù)有限責任公司專業(yè)生產(chǎn)、銷售電子束產(chǎn)品，以下信息由沈陽鵬程真空技術(shù)有限責任公司為您提供。

1、樣品臺：水冷樣品座，樣品座高度可調(diào)，便于調(diào)整蒸距。調(diào)節(jié)范圍：樣品臺與基片的可調(diào)節(jié)范圍300mm.

2、電子槍：電子槍功率6kW可調(diào)（滿足金屬、絕緣材料高速蒸發(fā)）4穴水冷坩堝（適用于對多種材料進行蒸發(fā)鍍制多層膜且膜層較薄工藝中應用效果好）。為保持E型電子槍蒸發(fā)絕緣穩(wěn)定性，配制高品質(zhì)束流掃描控制器，具有多種供控制程序進行選擇的預設模式，方便于操作、實驗數(shù)據(jù)積累。沈陽鵬程真空技術(shù)有限責任公司本著多年電子束產(chǎn)品行業(yè)經(jīng)驗，專注電子束產(chǎn)品研發(fā)定制與生產(chǎn)，先進的電子束產(chǎn)品生產(chǎn)設備和技術(shù)，建立了嚴格的產(chǎn)品生產(chǎn)體系，想要更多的了解，歡迎咨詢圖片上的熱線電話。配套相應蒸發(fā)坩堝內(nèi)襯,以適應不同材料,確保蒸發(fā)速率穩(wěn)定性,重復性.

電子束鍍膜有哪些特點？

★ 完全封閉的系統(tǒng)框架設計，外觀更漂亮，使用更安全；是一臺兼具美學和用戶操控體驗的全新升級產(chǎn)品；

★ 前開門真空腔體，方便取放基片、添加蒸發(fā)材料以及真空室的日常維護；

★ 可定制一體化高的精度刻蝕掩膜板；基片臺公轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速0～25rpm連續(xù)可調(diào)；平板基底襯底可選擇加熱或水冷；

★ 更優(yōu)的薄膜均勻性和重復性，采用進口膜厚監(jiān)控儀在線監(jiān)測和控制蒸發(fā)速率、膜厚；

★ 可沉積金屬（Au, Ag, Al, Ti, Pt, Mo, Fe, Cr, Ni等）、化合物（ITO等）及有機物材料（進口電子槍）。