測量大型物體的小運動是比較容易的，但是當(dāng)移動部件的尺寸為納米級時，難度就會加大。精準(zhǔn)測量微觀物體的微小位移的能力，可用于檢測微量的危險生物或化學(xué)試劑，完善微型機(jī)器人的運動，精準(zhǔn)部署氣囊，以及檢測通過薄膜傳播的極弱聲波。

研究人員測量了一個黃金納米顆粒的亞原子級運動。他們在這個黃金納米顆粒和一個金片之間設(shè)計了一個寬約15納米的小氣隙來進(jìn)行測量。這個間隙非常小，因此激光無法貫穿其中。

然而，光能表面等離子體激元，即電子組的集體波狀運動，被限制在沿著這個黃金表面和空氣之間的邊界行進(jìn)。

研究人員利用了光的波長，即光波的連續(xù)峰之間的距離。只要選擇恰當(dāng)?shù)牟ㄩL，或者說頻率，激光就可以使特定頻率的等離子體激元沿著間隙來回振動或起振，如同撥動吉他弦產(chǎn)生的混響。同時，當(dāng)納米顆粒移動時，它會改變間隙的寬度，并且還會像調(diào)諧吉他弦一樣，改變等離子體激發(fā)共振的頻率。以西安交大為首、通過產(chǎn)學(xué)研結(jié)合開發(fā)的微納米光柵滾壓印成套新技術(shù)及新裝備，為我國高精度精密光柵的設(shè)計制造技術(shù)和加工工藝開辟了一條嶄新途徑。

將細(xì)胞、蛋白質(zhì)、病原體、病毒、DNA等用納米級的磁性小顆粒來標(biāo)記，也就是磁化這些被探測的對象，再用高靈敏度的GMR磁阻傳感器來探測它們的具體位置。這種應(yīng)用方式在醫(yī)學(xué)及臨床分析、DNA分析、環(huán)境污染監(jiān)測有非常重要意義。

基于TMR效應(yīng)的自旋閥生物磁傳感器與傳統(tǒng)電化學(xué)分析、壓電晶體檢測方法相比具有精度高、體積小的優(yōu)勢，主要用于病變部位的非接觸式探測、室溫心磁圖檢測、生物分子識別分析等。

磁性傳感器還可用于準(zhǔn)備樣本的簡單離心機(jī)，它用來幫助控制小型電機(jī)，使其變得更加安靜和可靠。在助聽器領(lǐng)域，應(yīng)用了巨磁阻傳感器IC (GMR)與霍爾。

科學(xué)院科技戰(zhàn)略咨詢研究院與國家納米科學(xué)中心聯(lián)合發(fā)布《納米研究前沿分析報告》。報告采用內(nèi)容分析、文獻(xiàn)計量和領(lǐng)域分析相結(jié)合的方法，通過對比分析美國、英國、法國、德國、俄羅斯、歐盟、日本、韓國、印度、澳大利亞以及我國的納米技術(shù)研發(fā)計劃，發(fā)現(xiàn)各國對納米技術(shù)的信心普遍增強(qiáng)，投資力度普遍加大，科研人員數(shù)量和相關(guān)企業(yè)數(shù)均大幅增加；將納米技術(shù)列入促進(jìn)經(jīng)濟(jì)社會發(fā)展和解決重大問題的關(guān)鍵技術(shù)領(lǐng)域，在能源和生物等領(lǐng)域尤其受到重視；納米技術(shù)研究邁向新階段，由單一的納米材料制備和功能調(diào)控轉(zhuǎn)向納米技術(shù)的應(yīng)用和商業(yè)化；假設(shè)間隙由于納米顆粒的運動而改變，使得等離子體激元的固有頻率或諧振更接近于激光的頻率。通過公共研發(fā)平臺、產(chǎn)業(yè)園區(qū)等方式，促進(jìn)產(chǎn)學(xué)研合作及與其他領(lǐng)域的融合，縮短從前沿研究到產(chǎn)業(yè)化的時間；開展EHS（環(huán)境、健康、安全）和ELSI（限制、社會課題）研究以及國際標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范（ISO、IEC）的制定；重視納米技術(shù)的基礎(chǔ)教育和高等教育。報告顯示，我國在納米科技領(lǐng)域已形成一批達(dá)到世界水平的優(yōu)勢研究方向和團(tuán)隊。

　提高分辨力一直是光刻技術(shù)發(fā)展的主旋律，由瑞利公式R=K1λ/NA可知，縮短波長是提高分辨力的有效手段。每次更短波長光刻的應(yīng)用，都促使集成電路性能得到極大提升。

　光電所采用三角法測量，Z向位移轉(zhuǎn)化為標(biāo)記光柵與檢測光柵橫向位移ΔX，通過兩光路的信號比對橫向位移量ΔX進(jìn)行檢測，實現(xiàn)檢焦。該方法的兩光路結(jié)構(gòu)設(shè)計相同，兩信號相位相差，利用兩光路的信號比求解硅片的離焦量，消除了光強(qiáng)波動的影響，實現(xiàn)了納米級的檢焦精度。③研制出在同一干涉儀中直接實現(xiàn)大范圍高精度納米位移測量的新型測試計量裝置。