DWS型電容測微儀是電容不接觸式通用性精密測量儀器，它既是測振儀，又是測微儀，既能測量動(dòng)態(tài)位移，又能測量靜態(tài)位移，具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦，無磨損和無惰性特點(diǎn)外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩(wěn)定性好，抗電磁干擾能力強(qiáng)和使用操作方便等優(yōu)點(diǎn)，在科學(xué)院、工程院、航天、航空、高等院校、研究所、工廠得到廣泛應(yīng)用，成為科研、教學(xué)和生產(chǎn)中一種不可缺少的測試儀器。電容測微技術(shù)有著廣泛的應(yīng)用前景，發(fā)展更高精度、高分辨力和穩(wěn)定性的電容位移傳感器有著現(xiàn)實(shí)意義。儀器遠(yuǎn)銷國內(nèi)外，收到國內(nèi)外用戶的一致好評。

根據(jù)加工方法的機(jī)理和特點(diǎn)，精密和超精密加工方法，可以分為去除加工、結(jié)合加工和變形加工三大類。

（1）去除加工。又稱為分離加工，是從工件上去除一部分材料，傳統(tǒng)的機(jī)械加工方法，如車削、銑削、磨削、研磨和拋光等，以及特種加工中的電火花加工、電解加工等，均屬這種加工方法。

（2）結(jié)合加工。利用物理和化學(xué)方法，將不同材料結(jié)合(bonding)在一起。按結(jié)合的機(jī)理、方法、強(qiáng)弱等，它又分為附著、注入(injection)和連接(jointed)三種。

（3）變形加工。又稱為流動(dòng)加工，利用力、熱、分子運(yùn)動(dòng)等手段，使工件產(chǎn)生變形，改變其尺寸、形狀和性能。

1981年美國IBM公司研制成功的掃描隧道顯微鏡(STM)，將人們帶到了微觀世界。1nm，用于測量微位移及微小尺寸的系統(tǒng)精度能達(dá)到10nm左右，測量壓力及壓差的系統(tǒng)精度達(dá)到帕級，此外測量振動(dòng)、薄膜厚度及液位的儀器均得到成功的應(yīng)用，特別是近年來出現(xiàn)的成功應(yīng)用電容測微儀技術(shù)測量盲小孔和微孔直徑。STM具有極高的空間分辨率(平行和垂直于表面的分辨率分別達(dá)到0.1?nm和0.01?nm，即可分辨出單個(gè)原子)，廣泛應(yīng)用于表面科學(xué)、材料科學(xué)和生命科學(xué)等研究領(lǐng)域，在一定程度上推動(dòng)了納米技術(shù)的產(chǎn)生和發(fā)展。與此同時(shí)，基于STM相似原理與結(jié)構(gòu)，相繼產(chǎn)生了一系列利用探針與樣品的不同相互作用來探測表面或界面在納米尺度上表現(xiàn)出來性質(zhì)的掃描探針顯微鏡(SPM)，用來獲取通過STM無法獲取的有關(guān)表面結(jié)構(gòu)和性質(zhì)的各種信息。