種形式在小規(guī)模低等級要求的潔凈室車間設(shè)計(jì)中被廣泛應(yīng)用，對于大面積高等級的潔凈車間則存在運(yùn)行成本過高、占用空間過大等缺點(diǎn)。

第二種形式的設(shè)計(jì)可以滿足集成電路制造無塵車間大面積高等級的要求，但運(yùn)行成本較高，并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難，系統(tǒng)升級改造困難，因此操作靈活性很低。

第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運(yùn)行空間、潔凈度安全性高、運(yùn)行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時(shí)進(jìn)行系統(tǒng)升級和調(diào)整，這些都能很好地滿足半導(dǎo)體制造的需求，因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為很主要的凈化設(shè)計(jì)方案。

不產(chǎn)生：不在潔凈車間產(chǎn)生任何灰塵。

　　遵循這個(gè)原則，潔凈車間設(shè)計(jì)時(shí)，應(yīng)注意如下幾個(gè)方面：

　　1、 不采用易產(chǎn)塵、易吸附塵土的地面、四壁、天花板的裝飾材料。

　　2、不使用容易產(chǎn)生灰塵的材料與設(shè)備。

　　3、 在許多的潔凈車間內(nèi)，人都是很大的污染源。嚴(yán)格潔凈車間的管理，控制人員數(shù)量，避免不必要的移動(dòng)，人員應(yīng)穿潔凈服。

云南恒云凈化工程有限公司是一家空氣凈化空調(diào)設(shè)備安裝專業(yè)公司。

　　凈化車間門窗上的縫隙分為固定縫隙和活動(dòng)縫隙。性質(zhì)不同在凈化車間門、窗上所占比例也不同。凈化車間門、窗密閉采取的氣密措施也不完全相同。凈化車間門窗縫隙的處理一般來說，凈化車間門窗大都共同具有三類構(gòu)造縫隙。開啟扇與框料相互搭接的槽口尺寸與槽口形式問題，是活動(dòng)縫隙密封設(shè)計(jì)小必須注意的重要問題。一類是樘的組合拼接和樘與凈化車間門洞間的安裝縫隙;二類是樘與開啟扇之間的搭接縫隙;三類是玻璃或其他芯板的安裝縫隙。通常所提的凈化車間門的空氣泄漏無非是由上述三種縫隙產(chǎn)生的問題。

平開凈化車間門扇的縫隙密封：

　　平開式密閉凈化車間門是潔凈廠房中選用很多的凈化車間門類型，平時(shí)供通行或者運(yùn)輸.火災(zāi)時(shí)供緊急疏散，都很方便。

　　一般選用成型斷面的彈性材料作為密閉條固定密封在縫處。常用凈化車間門的洞口寬度，雙扇內(nèi)凈化車間門多在1800mm以下，雙扇外凈化車間門多在2100mm以下;洞口高度大抵在2400mm以內(nèi)。