原子層沉積（ALD）是一種沉積原子級(jí)薄膜的技術(shù)，它是以一種連續(xù)脈沖的方式在樣品表面和反應(yīng)前驅(qū)體材料之間發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。與傳統(tǒng)的等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）技術(shù)相比，沉積速率相對(duì)較慢，但是它可在高深寬比的溝槽和通孔結(jié)構(gòu)上沉積均勻薄膜。另外，在原子層沉積過(guò)程中，樣品表面上沒(méi)有物理和電學(xué)損傷，而在PECVD過(guò)程中由于離子轟擊這種損傷卻不可避免。此外，通過(guò)使用不同的反應(yīng)材料可沉積各種薄膜（氧化物，氟化物，氮化物，金屬等）。

       由于PVD涂層能提供更好的邊緣保持力，防止氧化和腐蝕，在切削過(guò)程中保持清晰，不會(huì)與骨骼、組織或體液發(fā)生反應(yīng)，故而，越來(lái)越多都用于，例如鋒利的手術(shù)器械、針頭、鉆頭、、各種裝置組件以及應(yīng)用的“磨損”部件。PVD功能性硬涂層(如DLC，TIN)已廣泛應(yīng)用在不銹鋼零部件上，作用是可減少摩損和延長(zhǎng)零部件壽命，但因?yàn)橥繉颖旧碛腥毕莺?，所以使用在一?nbsp; 耐腐蝕要求高的環(huán)境下，效果不佳。PVD功能膜配合納米透明膜是目前更理想的解決方案：PVD涂層提供耐磨性，納米透明膜提供耐腐蝕性。

       PVD工藝一般只是直線沉積，對(duì)形狀復(fù)雜，縱橫比高或有深孔的工件是難以得到均勻的厚度。納米透明膜可解決這問(wèn)題，無(wú)論形狀多復(fù)雜，每個(gè)位置的膜厚都是一致的，沒(méi)有大偏差。

1、派瑞林真空鍍膜設(shè)備有效應(yīng)用于磁性材料領(lǐng)域，派瑞林的制備工藝和優(yōu)異性能相結(jié)合，使它能對(duì)小型超小型磁材進(jìn)行無(wú)薄弱點(diǎn)全涂敷的磁材可浸鹽酸10天以上不腐蝕，目前國(guó)際上小型或者超小型磁材，幾乎都采用派瑞林鍍膜工藝作絕緣和防護(hù)涂層。

2、派瑞林真空鍍膜設(shè)備有效應(yīng)用于印制電路組件和元器件領(lǐng)域，鍍膜材料通過(guò)派瑞林真空鍍膜設(shè)備使得活性的對(duì)二雙游離基小分子氣在印制電路組件表面沉積聚合完成。氣態(tài)的小分子能滲透到包括貼裝件下面任何一個(gè)細(xì)小縫隙的基材上沉積，形成分子量約50萬(wàn)的高純聚合物。

3、派瑞林真空鍍膜設(shè)備有效應(yīng)用于微電子集成電路領(lǐng)域，派瑞林的真空氣相沉積工藝不僅和微電子集成電路制作工藝相似，而且所制備的派瑞林涂層介電常數(shù)也低，還能用微電子加工工藝進(jìn)行刻蝕制圖，進(jìn)行再金屬化，因此派瑞林（Parylene）不僅可用作防護(hù)材料，而且也能作為結(jié)構(gòu)層中的介電材料和掩膜材料使用，經(jīng)派瑞林（Parylene）涂敷過(guò)的集成電路芯片，其25um細(xì)直徑連接線，連接強(qiáng)度可提高5-10倍。

        Parylene涂層也用于硅橡膠鍵盤。Parylene涂層也用于硅橡膠鍵盤，防止印刷圖案，抵抗表面磨損，解決粘性問(wèn)題，同時(shí)保護(hù)鍵盤免受污垢，灰塵和油污。所施加的膜具有高介電強(qiáng)度，并且不損害下面的橡膠組分的電絕緣性能。Parylene提供無(wú)細(xì)孔，防止潮濕，腐蝕性體液，常見氣體，抑菌和溫度。增加涂層厚度可進(jìn)一步提高化學(xué)耐受性和耐溶劑性，而不會(huì)增加重量或?qū)嵸|(zhì)上影響基板的彈性。此外，聚對(duì)二薄膜可以除去硅橡膠的粘性，使硅橡膠表面更潤(rùn)滑，改變硅橡膠按鍵的手感。由于厚度薄，聚對(duì)二薄膜是透明或接近透明的，對(duì)按鍵的外觀和尺寸沒(méi)有影響。