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凈化車間的特點有美觀、剛性強、保溫性能好、易施工。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板。
凈化車間每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)。目前凈化車間應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
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無塵凈化車間的凈化工程一般采用上下送風(fēng)的狀態(tài),負(fù)氣流反向,這與粉塵正壓標(biāo)準(zhǔn)的目的不同。采用清潔,中等效率的三級過濾凈化系統(tǒng),室內(nèi)濃度與換氣次數(shù)密切相關(guān),必須通過響應(yīng)回風(fēng)來實現(xiàn)不同發(fā)散度的換氣次數(shù)。平行流(層流)系統(tǒng)是指流線平行,流向雪松的流結(jié)構(gòu),太平洋均的橫截面速度是不可避免的。因此,送入房間的氣流被所有潔凈室和潔凈室凈化工程部所覆蓋。它就像“活塞效應(yīng)”一樣,將房間內(nèi)隨時產(chǎn)生的灰塵壓向順風(fēng)一側(cè),然后將灰塵扔到外面。
無塵凈化車間采用的主要氣流結(jié)構(gòu)分為兩類:湍流(層流)。室內(nèi)粉塵源中產(chǎn)生的粉塵均鏟散并“稀釋”。并流無塵室,無塵室,重組,艱苦的建設(shè),投資和運營成本均僅在非常需要此過程時才使用孤島?;煦缌黧w凈化工程主要是為了控制稀釋效果,因此不同于普通空調(diào)采用的氣流結(jié)構(gòu)。它的原理是滿足過程和人體衛(wèi)生要求,并阻止渦流將灰塵帶到該區(qū)域之外。減少工件的凈化機(jī)會。無液室,無塵室,無塵車間,凈化工程組織簡單,施工方便,投資和運行費用少。因此,大多數(shù)潔凈室和無塵車間都采用這種方法。