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電壓的不穩(wěn)定:這對對磁浮類的分子泵損傷較大。
愛德華RV5真空泵維修廠家前級泵的效率差:分子泵維修提醒,腔體內(nèi)的大部分氣體首先是通過前級泵抽出,真空達到一定程度分子泵才會啟動。如果前級泵的效率差,分子泵就會比較吃力,啟動速度慢,抽氣時間長,電流高,分子泵溫度升高等。
愛德華RV5真空泵維修廠家分子泵保養(yǎng)時的動平衡沒有做好,這是技術(shù)的關(guān)鍵,動平衡差,振動就大,抽氣效率就差,也容易造成軸承部分的過度磨損。
愛德華RV5真空泵維修廠家軸承部分沒有使用原廠的標準軸承,效果和尺寸不標準等。
在排除電路部分的故障后,愛德華真空泵維修應(yīng)考慮以下兩個因素:
1、檢查電機是否燒壞:主要為電機定子線圈燒毀,引起原因較多,如瞬間電流過大,電機軸承使用久了被磨損,致使軸承摩擦阻力變大,電機功率加大,引起溫度上升,燒毀電機。這時應(yīng)先檢查電機軸承,再檢查電機線國。軸承損壞就更換軸承;電機線國燒毀則應(yīng)維修電機,重新繞制定子線國。軸承和線器損壞嚴重時,就需更換電機了。
渦輪分子泵的極限壓力p1可用泵出口壓力p2除以泵的壓縮比K得來,即(2-24) K 渦輪分子泵的K值,隨分子量的增加而增大,它對油蒸氣的壓縮比特別大 因而能夠獲得碳氫化合物污染較少的清潔真空,但對于輕的氣體如氫的壓縮比卻很 低,所以前級氫分壓是影響泵的極限壓力的因素,氫的分壓主要來源于前級 機械泵運轉(zhuǎn)時油裂解產(chǎn)生氫的影響,不同牌號的前級機械泵油,對分子泵的極限壓 力的影響遠遠大于泵軸承潤滑油的影響。高壓縮比的分子泵,經(jīng)過烘烤后能獲得 1×10=6~1×10-9Pa的真空度,氫占殘余氣體成分的90%以上。
真空泵機械故障的類型,多種多樣,但是泵浦在實際使用中,是可以避免或者排除大部分故障的。
有時,一臺新泵,對某些生產(chǎn)應(yīng)用來說,仍覺其極限真空度不夠高,真空泵維修工作者也可以盡可能設(shè)法將其改進一些。從前面所述的維修方法、步驟、關(guān)鍵部位的分析,可以找到解決辦法。本章前幾節(jié)已對旋片泵、滑閥泵、定片泵的整體式結(jié)構(gòu)、組合式結(jié)構(gòu)和側(cè)偏心式結(jié)構(gòu)的一些故障維修舉了實例說明,下面還將簡略提及對十室旋片泵和往復(fù)泵的修理方法。
有些泵,按其極限真空度的指標來說,也并不是很低的,但是生產(chǎn)上卻希望它還能提高些,應(yīng)如何著手呢?