SF6氣體已有百年歷史，它是法國兩位化學家Moissan和Lebeau于1900年合成的人造惰性氣體，1940年前后，美國軍方將其用于曼哈頓計劃(核軍事)。1947年提供商用。當前SF6氣體主要用于電力工業(yè)中。SF6氣體用于4種類型的電氣設備作為絕緣和/或滅弧;SF6斷路器及GIS(在這里指六氟化硫封閉式組合電器，國際上稱為'氣體絕緣開關(guān)設備'(Gas Insulated Switchgear))、SF6負荷開關(guān)設備，SF6絕緣輸電管線，SF6變壓器及SF6絕緣變電站。80%用于高中壓電力設備。

將硫、、一氯化硫、或等加入到無水中，以鎳為陽極進行電解即可制得六氟化硫?；蚍土蛑苯臃磻苽淞颉＿€可以金屬氧化物為催化劑于300℃下用空氣氧化，或者在500～2000℃使氟化硫熱解。2、以長約300mm直徑25mm的鎳管為反應器，將盛有硫粉的鎳舟置于其中，反應管與一石英阱連接，石英阱以液態(tài)氧冷卻。裝置的末端與一裝有新脫水的KF的鐵制干燥管相連，以隔離空氣中的濕氣。




直接電解法　將硫、、一氯化硫、或等加入到無水中，以鎳為陽極進行電解即可制得六氟化硫。用與無水氫氟酸電解時，以鎳作極，鐵作陰極，溫度為－10～20℃，電壓為7～20V。電解產(chǎn)物應除去雜質(zhì);催化氧化法　金屬氧化物為催化劑，于300℃下，用空氣氧化，該法缺點是收率過低。熱解法，在500～2000℃使SF4熱解，但該法的轉(zhuǎn)換率及收率皆低，采用微波放電分解SF4亦可。