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國內(nèi)外的潔凈工程的發(fā)展都是隨著科學(xué)工程的發(fā)展、工業(yè)產(chǎn)品的日新月異,特別是軍事工業(yè)、航天、電子和生物藥等工業(yè)的發(fā)展而不斷發(fā)展?,F(xiàn)代工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)和現(xiàn)代化科學(xué)實驗活動要求微型化、精密化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性。微型化的產(chǎn)品如電子計算機,從當(dāng)初的要在數(shù)間房間內(nèi)配置數(shù)臺設(shè)備組合發(fā)展到現(xiàn)在的筆記本電腦,它所使用的電子元器件從電子管到半導(dǎo)體分離器件到集成電路再到超大規(guī)模集成電路,僅集成電路的線寬已從幾微米發(fā)展到現(xiàn)今的0.1um左右。
以集成電路的微型化為例,它對空氣中受控粒子粒徑從0.3~0.5um的要求發(fā)展到空氣中受控粒子的粒子尺寸要求控制在0.05um甚至更小,可見各類工業(yè)產(chǎn)品的微型化正不斷對潔凈工程提出更嚴格的要求。高純度的產(chǎn)品,如生產(chǎn)集成電路所需單晶硅材料,生產(chǎn)光纖所需四敘化硅、四氯化錯材料等已由過去的所謂高純進入“電子純”“超純”,只有達到如此高的純度才能達到現(xiàn)代集成電路、電子元器件、光纖產(chǎn)品所需的工程特性。
裝配式潔凈工程是將工程所需構(gòu)件按照潔凈要求進行標準化、規(guī)格化、模塊化,進行工廠工業(yè)化生產(chǎn),到現(xiàn)場進行裝配、連接,實現(xiàn)潔凈要求的潔凈室。 潔凈工程鋼構(gòu)網(wǎng)架裝修:為承擔(dān)天花板、風(fēng)管、制程管路、消防管道等承重,需在原有廠房內(nèi)部搭建二次鋼構(gòu)網(wǎng)架,現(xiàn)有設(shè)施含自重,每平米約100Kg。減少潔凈工程空氣中懸浮粒子的含量和有效地去除已存在的固體微粒子,始終都是制造過程控制的主要內(nèi)容。