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金剛石線切割
在國際上,游離磨料線鋸切割在單晶硅、多晶硅的切割中占主流地位,但是這種技術(shù)存在明顯的不足: 線鋸走絲速度低,通?!?0m/S,切割效率低, 鋸絲使用壽命短。切割大尺寸坯料時(shí)磨料難以進(jìn)入到長而深的切縫,磨漿的處理和回收成本較高。樹脂結(jié)合劑鋸線制造方法與樹脂結(jié)合劑砂輪的制造類似,直接將含有金剛石磨料的樹脂混合物涂敷在金屬絲表面,經(jīng)過干燥后再固化。因此,近來出現(xiàn)金剛石線切割代替游離磨料線鋸的發(fā)展趨勢。
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金剛石線切割機(jī)
金剛石線切割機(jī)常用的金剛石線有電鍍型和樹脂型兩種。
1、電鍍型:用電鍍的方法在金屬絲上沉積一層金屬(一般為鎳和鎳鈷合金),并在金屬內(nèi)固結(jié)金剛石磨料制成的一種線性超硬材料工具。金屬鍍層是結(jié)合劑,金剛石磨料則用于切削加工。
2,、樹脂型:樹脂金剛石線是在原有鍍銅超細(xì)鋼絲線上噴涂一種增強(qiáng)耐磨合金、特種樹脂和金剛石超微粉的切割線,主要應(yīng)用于單晶硅、多晶硅、藍(lán)寶石、水晶、陶瓷和半導(dǎo)體材料的切割上,能取代目前碳化硅砂漿法,解決了環(huán)境污染。
線切割速度
線切割過程中的速度調(diào)整:
若設(shè)置的線切割速度與實(shí)際切割速度不匹配容易發(fā)生夾線,進(jìn)而使金剛石線斷開,切割速度的設(shè)定沒有具體規(guī)定,一般根據(jù)經(jīng)驗(yàn)選擇。要求配備不同的轉(zhuǎn)速和進(jìn)給速度以及自動(dòng)化程度和各種工裝夾具的設(shè)計(jì)等等。切割過程中當(dāng)發(fā)現(xiàn)所選用的速度過大時(shí)可進(jìn)行適當(dāng)?shù)恼{(diào)整,速度的大小可根據(jù)金剛石線出現(xiàn)弧度的速度進(jìn)行調(diào)整,若切割過程中金剛石線幾乎一直處于平直狀態(tài),說明所選用的切割速度還可以適當(dāng)增加,直到調(diào)整到金剛石線的弧度狀態(tài)一直保持不變的,說明所選用的切割速度適于材料的切割