芯片檢測顯微鏡的應用特點

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集成電路在研制、生產(chǎn)和使用過程中失效不可避免，隨著人們對芯片產(chǎn)品質(zhì)量和可靠性要求的不斷提高，失效分析工作也顯得越來越重要，通過芯片檢測顯微鏡對集成電路失效分析，可以幫助集成電路設計人員找到設計上的缺陷、工藝參數(shù)的不匹配或設計與操作中的不當?shù)葐栴}。

芯片檢測顯微鏡的特點

配有帶屈光補償?shù)睦忡R型雙目鏡筒。能調(diào)節(jié)左右目鏡的屈光度。這種設計使得在調(diào)節(jié)瞳距時，物鏡的齊焦面保持不變，即使更換不同倍率的物鏡，也只需做少量的調(diào)焦。目鏡圈由橡皮制成，以便更舒適的觀察。

高質(zhì)量的多孔轉換器內(nèi)部設有機械定位。此設計使旋轉更平滑，也增強了耐用性。同時，轉換器周圈帶有突楞，使得旋轉更加方便，無需觸及物鏡。

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芯片檢測顯微鏡——機構機械載物臺

芯片檢測顯微鏡的機械載物臺可在XY方向進行平滑移動。由于這種機構是內(nèi)置式設計，而不是附加而不是附加的，因而X向?qū)к壊粫怀鲚d物臺臺面，這種設計增大了載物臺上方的空間，使對標本操作變得更方便、快捷，同時，載物臺在X軸的移動也更加平滑和精密。載物臺表面光滑，使載玻片能夠更平滑、自如地移動。

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