真空泵

深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專(zhuān)門(mén)從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售于一體的民營(yíng)高科技企業(yè)。主營(yíng)產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標(biāo)真空設(shè)備，真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。真空檢漏設(shè)備公司真空檢漏設(shè)備公司無(wú)油干式機(jī)械真空泵(又簡(jiǎn)稱(chēng)干式機(jī)械泵)是指泵能從大氣壓力下開(kāi)始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內(nèi)無(wú)油或其他工作介質(zhì)，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級(jí)或者接近的機(jī)械真空泵。

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羅茨泵從國(guó)外羅茨泵生產(chǎn)情況來(lái)看，國(guó)外幾家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、和ULVAC，他們各家羅茨泵的銷(xiāo)售額占全球羅茨泵銷(xiāo)售額的比例都沒(méi)超過(guò)5%，這5家總計(jì)才20%，羅茨泵產(chǎn)量不大，但國(guó)外羅茨泵的價(jià)格遠(yuǎn)比國(guó)產(chǎn)泵要高得多。國(guó)內(nèi)外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng)，為了縮短抽氣時(shí)間、提高生產(chǎn)效率都配有羅茨泵，所以國(guó)產(chǎn)羅茨泵一定要在占領(lǐng)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)基礎(chǔ)上設(shè)法進(jìn)入國(guó)際市場(chǎng)另外，還要考慮到有些國(guó)家和地區(qū)的電源頻率為60Hz，更要確保羅茨泵在提高轉(zhuǎn)速的情況下長(zhǎng)期運(yùn)行的可靠性。國(guó)內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨泵進(jìn)展很快，技術(shù)上已經(jīng)成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過(guò)管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子，從而使壓縮熱得到平衡，所以這種泵可以直排大氣。為了滿(mǎn)足不同極限真空度的要求，這種泵可以串聯(lián)使用，一般前面加一臺(tái)氣冷式直排大氣羅茨泵，所達(dá)到的極限真空要比前級(jí)泵高一個(gè)數(shù)量級(jí)。這種泵由于在泵腔內(nèi)沒(méi)有工作介質(zhì)，實(shí)際上也是屬于干泵。這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機(jī)組已經(jīng)在石油、化工、塑料、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長(zhǎng)期運(yùn)行的考驗(yàn)，所以應(yīng)該在國(guó)內(nèi)大力推廣和應(yīng)用。它可單獨(dú)作用，也可作為增壓泵、擴(kuò)散泵、分子泵等的前級(jí)泵，維持泵，鈦泵的預(yù)抽泵用。

分子泵分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速，國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱(chēng)之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是中國(guó)真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿(mǎn)足不同場(chǎng)合的需要。真空泵深圳銳誠(chéng)——專(zhuān)業(yè)做真空設(shè)備檢漏維修，我們?yōu)槟鷰?lái)以下信息深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。

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深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專(zhuān)門(mén)從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售于一體的民營(yíng)高科技企業(yè)。主營(yíng)產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標(biāo)真空設(shè)備，真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。真空度單位通常用托（Torr）為單位，國(guó)際上取用帕（Pa）作為單位。

真空泵的好壞決定于其機(jī)械結(jié)構(gòu)和油的質(zhì)量，使用真空泵時(shí)必須把它保護(hù)好。如果蒸餾揮發(fā)性較大的有機(jī)rong劑時(shí)，有機(jī)rong劑會(huì)被油吸收結(jié)果增加了蒸氣壓，從而降低了抽空效能，如果是酸性氣體，那就會(huì)腐蝕油泵，如果是水蒸氣就會(huì)使油成乳濁液而抽壞真空泵。因此使用真空泵時(shí)必須注意下列幾點(diǎn)：在蒸餾系統(tǒng)和真空泵之間，必須裝有吸收裝置。蒸餾前必須用水泵徹底抽去系統(tǒng)中有機(jī)rong劑的蒸氣。如能用水泵抽氣的，則盡量用水泵，如蒸餾物質(zhì)中含有揮發(fā)性物質(zhì)，可先用水泵減壓抽降，然后改用油泵。減壓系統(tǒng)必須保持密不漏氣，所有的橡皮塞的大小和孔道要合適，橡皮管要用真空用的橡皮管。磨口玻璃涂上真空油脂。真空檢漏設(shè)備公司真空檢漏設(shè)備公司干式真空泵主要有下列幾種形式:雙圓裂片式雙圓裂片式設(shè)計(jì)和目前最liu行和廣泛應(yīng)用的羅茨泵非常相似。

真空設(shè)備檢漏

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深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專(zhuān)門(mén)從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售于一體的民營(yíng)高科技企業(yè)。概括地講從大氣到極高真空有一個(gè)很大的范圍，至今為止還沒(méi)有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個(gè)范圍。主營(yíng)產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標(biāo)真空設(shè)備，真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。

檢漏方法的分類(lèi)

按被檢容器所處的狀態(tài)可分為兩大類(lèi)，即加壓檢漏法和真空檢漏法。

(1)加壓檢漏法。在被檢容器內(nèi)充入一定壓力的氣體(稱(chēng)試驗(yàn)氣體或者探漏氣體)或液體，當(dāng)容器上存在漏孔時(shí)，氣體(或液體)便從漏孔中逸出，從哪里逸出，逸出量的多少等，就可判斷有無(wú)漏孔存在、漏孔位置和大小。屬于此類(lèi)檢漏方法有:

水壓法:將清潔的水壓入被檢容器中，一般水壓在2~3個(gè)大氣壓左右，觀察容器外壁有無(wú)水珠出現(xiàn)，根據(jù)水珠出現(xiàn)的位置大小和快慢，來(lái)確定漏孔位置和估計(jì)漏氣量的大小。

氣壓法:將試驗(yàn)氣體(空氣或其他氣體)壓入被檢容器，在外面檢查有無(wú)氣體逸出，具體方法有:聲響、火焰、氣泡指示法(水槽法、皂膜法);氨檢漏法;鹵素檢漏儀和氨質(zhì)譜儀吸嘴法和放she性同位素法。其中鹵素檢漏法是，金屬鉑在高溫(常用850~950℃)下產(chǎn)生正離子發(fā)射(主要是堿金屬離子)，這種發(fā)射遇到鹵素氣體時(shí)急劇增加，依據(jù)這個(gè)現(xiàn)象可以制成一種檢漏儀器，即鹵素檢漏儀。為達(dá)到最jia配置，選擇真空系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)考慮下述各點(diǎn)：首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。

鉑的離子發(fā)射現(xiàn)象被設(shè)置在一個(gè)探頭中，探頭是一支二極電子管結(jié)構(gòu)，加熱絲、陽(yáng)極及不銹鋼陰極組成一間熱式二極管，后部安裝吸氣風(fēng)扇，使用時(shí)不斷吸進(jìn)氣體，工作時(shí)二極管的陽(yáng)極由燈絲加熱到850~950℃，陰極對(duì)陽(yáng)極加有250V負(fù)電壓并收集正離子，離子電流由電子電路放大后，用儀表指示，考慮到檢漏時(shí)無(wú)暇觀察儀表指示，儀表還設(shè)有揚(yáng)聲器，當(dāng)探

出漏孔時(shí)，儀器便發(fā)出聲音。

示漏氣體多用氯的鹵化物，如氟利昂、氯f(wàn)ang、四LV化碳等，其中以氟利昂無(wú)du、不可燃、蒸汽壓力高、靈敏度高被廣泛應(yīng)用。檢漏時(shí)，鹵素氣體充于被檢件內(nèi)，用外探頭在外部

尋找漏孔。這種方法可檢出10-9 Pa·m3/s的漏孔，工業(yè)產(chǎn)品一般為10-6~10-7Pa·m3/s。

真空設(shè)備檢漏與維修

深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專(zhuān)門(mén)從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售于一體的民營(yíng)高科技企業(yè)。（轉(zhuǎn)向按防護(hù)罩指示方向）⑺對(duì)于有冷卻水的真空泵，按規(guī)定接通冷卻水。主營(yíng)產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標(biāo)真空設(shè)備，真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。

隨著壓力容器出口產(chǎn)品的增加及各制造企業(yè)對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的重視，氦質(zhì)譜檢漏方法在我國(guó)的壓力容器制造業(yè)中的應(yīng)用也逐年遞增。氦質(zhì)譜檢漏方法（以下簡(jiǎn)稱(chēng)氦檢）以其高靈敏度和準(zhǔn)確性而通常應(yīng)用于整體防漏等級(jí)較高的壓力容器上。氦檢方法基本上可分為用氦氣內(nèi)部加壓法和設(shè)備內(nèi)部抽真空外部施氦這兩種，由于后者需將設(shè)備完全抽成真空狀態(tài),往往會(huì)增加試驗(yàn)用設(shè)備（如高、低壓真空泵、真空閥等）和設(shè)備工裝（如外壓加強(qiáng)圈）而使造價(jià)提高，所以該方法通常用于容積小而厚壁的設(shè)備；對(duì)于大多數(shù)壓力容器而言，通常優(yōu)先選用前一種方法。1MPa后，重復(fù)檢漏儀的檢漏操作，如果隔層滲氣，氣體將進(jìn)入爐室被檢漏儀檢測(cè)。

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