隨著節(jié)能減排、新能源并網(wǎng)、智能電網(wǎng)的發(fā)展，這些領(lǐng)域?qū)β拾雽?dǎo)體器件的性能指標(biāo)和可靠性的要求日益提高，要求器件有更高的工作電壓、更大的電流承載能力、更高的工作頻率、更高的效率、更高的工作溫度、更強(qiáng)的散熱能力和更高的可靠性。國家和國際大型企業(yè)紛紛投入到碳化硅和氮化的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化中，產(chǎn)業(yè)鏈覆蓋材料、器件、模塊和應(yīng)用等各個(gè)環(huán)節(jié)。

由于天然含量甚少，碳化硅主要多為人造。常見的方法是將石英砂與焦炭混合，利用其中的二氧化硅和石油焦，加入和木屑，置入電爐中，加熱到2000°C左右高溫，經(jīng)過各種化學(xué)工藝流程后得到碳化硅微粉。

制作碳化硅有以下幾種步驟：

1)取碳化硅原料，經(jīng)破碎機(jī)中碎，并篩分至不大于5mm的碳化硅顆粒，再用機(jī)對(duì)其進(jìn)行至不大于2mm的碳化硅顆粒，且其中橢圓形顆粒占80%以上，再對(duì)其進(jìn)行酸洗除雜，干燥;

2)將上述干燥后的碳化硅顆粒用磨粉機(jī)粉碎成d50=9.5-11.5μm的碳化硅粉，粉碎時(shí)，磨粉機(jī)主機(jī)電流設(shè)定為65-75A，風(fēng)機(jī)流量設(shè)定為40-50m3/min，分析機(jī)轉(zhuǎn)速為400--600轉(zhuǎn)/分;

(3) 然后用渦流式氣流分級(jí)機(jī)對(duì)碳化硅粉進(jìn)行分級(jí)，分級(jí)時(shí)，渦流式氣流分級(jí)機(jī)的風(fēng)機(jī)流量為25-43m3/min，分級(jí)輪轉(zhuǎn)速為2600--3300轉(zhuǎn)/分，從分級(jí)口分出粒度ds94=6.5-5.5μm的成品A，旋風(fēng)口分出ds94≤5.5μm的半成品;

(4)將渦流式氣流分級(jí)機(jī)旋風(fēng)口分出的半成品用葉輪式氣流分級(jí)機(jī)再進(jìn)行二次分級(jí)，分級(jí)時(shí)，葉輪式氣流分級(jí)機(jī)的風(fēng)機(jī)流量為25-10m3/min，分級(jí)輪轉(zhuǎn)速為1300--1700轉(zhuǎn)/分，從分級(jí)口分出粒度為ds94=4.5-3.0μm的成品B，旋風(fēng)口則分出副產(chǎn)品。