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發(fā)布時間:2021-10-17 04:24  






佛山市錦城鍍膜有限公司以耐高溫車輛燈具注塑 鍍膜為主的專業(yè)生產(chǎn)廠家,公司秉承“以質(zhì)取勝,求真務實,顧客至上”理念,歡迎廣大客戶光臨了解,我們將為你的產(chǎn)品錦上添花.

鍍膜工藝流程中工藝參數(shù)的控制和對膜層沉積的影響 :

偏壓:偏壓施加于工件上,在輝光清洗時工件(陰極)與爐體之間產(chǎn)生輝光放電,部分氣被電子離化產(chǎn)生離子,離子(帶正電)在負偏壓作用下受工件吸引轟擊清洗工件表面,偏壓越大,對工件的轟擊凈化越干凈,但同時工件本身的溫升也越大,特別是尖角位棱角位置;在反應濺射氣氛中,加入工作氣體越多,濺射速率越高,當加入的工作氣體過多時,反應氣體來不急將所有濺射出來的原子反應掉,膜層內(nèi)就會含有金屬,我們把這種狀態(tài)叫翻轉(zhuǎn)。在離子轟擊中用于加速離子,提高離子轟擊工件表面的能量,去除表面氧化層和吸附物,達到提高膜層結(jié)合力的作用。

靶基距:靶基距是影響成膜速率的重要因素之一,隨著靶基距增加,被濺射材料射向基片時與氣體分子碰撞的次數(shù)增多,同時等離子體密度也減弱,動能減少,沉積速率降低,但膜層外觀較好。靶基距太小,沉積太快,工件溫升大,膜層外觀差。

真空鍍膜有三種形式,即蒸發(fā)鍍膜、濺射鍍膜和離子鍍。

真空蒸鍍是將沉積材料與工件同放在真空室中,然后加熱沉積材料使之迅速熔化蒸發(fā),當蒸發(fā)原子與冷工件表面接觸后便在工件表面上凝結(jié)形成具有一定厚度的沉積層日。


鍍膜原理

陰極真空磁控濺射的特點:膜層厚度均勻、鍍膜速度快、基板溫度低。濺射鍍膜利用2個原理:輝光放電、連續(xù)撞擊。濺射過程是建立在氣體放電基礎上的,放電從低壓下開始的,氣體離子與靶材相互作用,離子不斷的撞擊靶表面,靶材從靶表面被轟擊下來然后在靶附近的基片(玻璃)上沉積下來,凝結(jié)成一層薄膜。減小占空比有利于抑制打火損傷和降低工件表面的溫度、輝光放電清洗和離子轟擊的效果。



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