單向流潔凈室一般有兩種類型，即水平流和垂直流。在水平流系統(tǒng)中，氣流是從一面墻流向另一面墻。氣流有如一個空氣活塞，向下流經(jīng)室內(nèi)，帶走污染物，然后從地面排出。又在與外部的一些新鮮空氣混合后，再循環(huán)至過濾器。人員和工藝所產(chǎn)生的懸浮污染可立即被這種空氣清除掉，而紊流通風系統(tǒng)采用的是混合與稀釋原理。在一間沒有任何障礙物的空房間，單向流用比前面提到的低得多的風速，就可以很快將污染物清除。

    我國的潔凈室工程開始于20世紀60年代初，在70年代電子工業(yè)潔凈室特別是半導(dǎo)體集成電路用潔凈室的規(guī)劃、建造開展很快，相繼建成一批潔凈廠房，并研制成功100級單向流潔凈室;與此同時，潔凈廠房用設(shè)備和資料，如過濾器，潔凈工作臺、層流罩、潔凈烘箱、空氣吹淵室、凈化型傳遞窗等相繼研制成功，并投入出產(chǎn)，雖然制作質(zhì)量和某些工程指標與世界水平尚有差距，但已能滿足國內(nèi)部分需求，到20世紀70年代末我國潔凈室規(guī) 劃、建造和潔凈工程的開展走向成熟階段。

    凈化工程是一個體系工程，包含修建、裝修、凈化空調(diào)體系、通風、水、氣、電體系，需求多專業(yè)多工種，依照交叉施工程序、互相配合，才干獲得成功。凈化工程是操控污染的工程，從一開端就要注重文明施工、注重污染操控，從著裝的逐漸深化，打掃的逐漸加強，搬入機具和資材的污染操控，的分階段操控，物流通道的逐漸減少，一直至完全操控。

    凈化工程有三個要害，即氣流組織、正壓操控、（過濾器）的運用。我們需求從一開端就要特別注意這三個要害，并自始至終。